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1. (WO2009125727) ANNEALING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2009/125727 International Application No.: PCT/JP2009/056962
Publication Date: 15.10.2009 International Filing Date: 03.04.2009
IPC:
H01L 21/26 (2006.01) ,H01L 21/31 (2006.01)
Applicants: KASAI, Shigeru[JP/JP]; JP (UsOnly)
SUZUKI, Tomohiro[JP/JP]; JP (UsOnly)
TOKYO ELECTRON LIMITED[JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP (AllExceptUS)
Inventors: KASAI, Shigeru; JP
SUZUKI, Tomohiro; JP
Agent: TAKAYAMA, Hiroshi; Hirakawacho Tsujita Bldg. 2F, 1-7-20, Hirakawacho, Chiyoda-ku, Tokyo 1020093, JP
Priority Data:
2008-10316011.04.2008JP
Title (EN) ANNEALING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE RECUIT
(JA) アニール装置
Abstract: front page image
(EN) An annealing apparatus is provided with a chamber (2) wherein a wafer (W) is stored; heating sources (17a, 17b) having a plurality of LEDs (33) for irradiating the wafer (W) in the chamber (2) with light; a power supply section (60) for feeding the LEDs (33) of the heating sources (17a, 17b) with power; power feed control sections (42a, 42b) which control power feed from the power supply section (60) to a light emitting element; light transmitting members (18a, 18b) which transmit light emitted from the LEDs (33); and an air-releasing mechanism for releasing air from inside the chamber (2). The power feed control sections (42a, 42b) drive the LEDs (33) with direct current.
(FR) L'invention porte sur un appareil de recuit qui est pourvu d’une chambre (2) dans laquelle une tranche (W) est stockée ; de sources de chauffage (17a, 17b) ayant une pluralité de DEL (33) pour irradier la tranche (W) dans la chambre (2) avec de la lumière ; d’une section d'alimentation électrique (60) pour alimenter les DEL (33) des sources de chauffage (17a, 17b) en énergie électrique ; de sections de commande d'alimentation électrique (42a, 42b) qui commandent une alimentation électrique provenant de la section d'alimentation électrique (60) vers un élément d'émission de lumière ; d’éléments de transmission de lumière (18a, 18b) qui transmettent une lumière émise à partir des DEL (33), et d’un mécanisme de libération d'air pour libérer de l'air provenant de l'intérieur de la chambre (2). Les sections de commande d'alimentation électrique (42a, 42b) excitent les DEL (33) avec du courant continu.
(JA)  ウエハWが収容されるチャンバー(2)と、チャンバー(2)内のウエハWに対して光を照射する複数のLED(33)を有する加熱源(17a,17b)と、加熱源(17a,17b)のLED(33)に給電する電源部(60)と、電源部(60)から発光素子への給電を制御する給電制御部(42a,42b)と、LED(33)からの光を透過する光透過部材(18a,18b)と、チャンバー(2)内を排気する排気機構とを具備し、給電制御部(42a,42b)は、LED(33)を直流駆動する。  
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)