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1. (WO2009123126) DOUBLE-SIDE COATING APPARATUS, METHOD FOR COATING DOUBLE SIDES WITH COATING SOLUTION, EDGE RINSE APPARATUS AND EDGE RISE METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/123126    International Application No.:    PCT/JP2009/056516
Publication Date: 08.10.2009 International Filing Date: 30.03.2009
IPC:
G11B 5/855 (2006.01), B05C 11/08 (2006.01), B05D 1/40 (2006.01)
Applicants: SHOWA DENKO K.K. [JP/JP]; 13-9, Shibadaimon 1-chome, Minato-ku, Tokyo, 1058518 (JP) (For All Designated States Except US).
FUKUSHIMA, Masato [JP/JP]; (JP) (For US Only).
OKADA, Tsubasa [JP/JP]; (JP) (For US Only).
YAMAZAKI, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
IMAI, Naoyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: FUKUSHIMA, Masato; (JP).
OKADA, Tsubasa; (JP).
YAMAZAKI, Hiroyuki; (JP).
IMAI, Naoyuki; (JP)
Agent: SHIGA, Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo, 1006620 (JP)
Priority Data:
2008-090572 31.03.2008 JP
2008-090573 31.03.2008 JP
2008-090574 31.03.2008 JP
2008-090575 31.03.2008 JP
Title (EN) DOUBLE-SIDE COATING APPARATUS, METHOD FOR COATING DOUBLE SIDES WITH COATING SOLUTION, EDGE RINSE APPARATUS AND EDGE RISE METHOD
(FR) APPAREIL D’APPLICATION DE REVÊTEMENT DOUBLE FACE, PROCÉDÉ PERMETTANT D'APPLIQUER UNE SOLUTION DE REVÊTEMENT DOUBLE FACE, APPAREIL DE RINÇAGE DE BORD ET PROCÉDÉ DE RINÇAGE DE BORD
(JA) 両面塗布装置および塗液の両面塗布方法、並びエッジリンス装置およびエッジリンス方法
Abstract: front page image
(EN)Provided is a double-side coating apparatus which can uniformly coat the both surfaces of a substrate to be processed with a coating solution and form uniform coat films on the both surfaces of the substrate to be processed. A double-side coating apparatus (1) is provided with a holding mechanism (3a) which holds a substrate (2) to be processed such that the thickness direction of the substrate (2) is in the horizontal direction; a rotation drive mechanism for rotating the substrate (2) in a circumferential direction; a first coating solution nozzle (18a) for jetting the coating solution onto one main surface (2a) of the substrate (2); and a second coating solution nozzle for jetting the coating solution onto the other main surface (2b) of the substrate (2). The first coating solution nozzle (18a) and the second coating solution nozzle are symmetrically arranged with respect to a thickness center surface of the substrate (2). An edge rinse apparatus which can accurately and stably rinse only a fixed width of an outer peripheral portion of the substrate and can easily control the width of the outer peripheral portion to be rinsed even the width of the outer peripheral portion to be rinsed is small.
(FR)La présente invention concerne un appareil d'application de revêtement double face qui est apte à appliquer un revêtement uniforme sur les deux surfaces d'un substrat devant être traité avec une solution de revêtement et qui est apte également à former des films de revêtement uniformes sur les deux surfaces du substrat devant être traité. Un appareil d'application de revêtement double face (1) comprend un mécanisme de maintien (3a) qui maintient un substrat (2) devant être traité de telle sorte que la direction dans le sens de l'épaisseur du substrat (2) corresponde à la direction horizontale ; un mécanisme d'entraînement en rotation pour faire tourner le substrat (2) dans le sens de la circonférence ; une première buse (18a) de projection de solution de revêtement servant à projeter la solution de revêtement sur une surface principale (2a) du substrat (2) ; et une seconde buse de projection de solution de revêtement pour projeter la solution de revêtement sur l'autre surface principale (2b) du substrat (2). La première buse (18a) de projection de solution de revêtement et la seconde buse de projection de solution de revêtement sont agencées de façon symétrique par rapport à une surface centrale du substrat (2) dans le sens de l'épaisseur. La présente invention concerne également un appareil de rinçage de bord qui est apte à rincer de façon stable et précise seulement une largeur déterminée d'une partie de périphérie extérieure du substrat, et qui peut contrôler sans difficulté la largeur de la partie de périphérie extérieure devant être rincée même lorsque la largeur de la partie de périphérie extérieure devant être rincée est peu importante.
(JA) 被処理基板の両面に均一に塗液を塗布することができ、被処理基板の両面に均一な塗膜を形成できる両面塗布装置を提供する。被処理基板(2)の厚み方向が水平方向となるように被処理基板(2)を保持する保持機構(3a)と、被処理基板(2)を周回りに回転させる回転駆動機構と、被処理基板(2)の一方の主面(2a)に塗液を噴出する第1塗液用ノズル(18a)と、被処理基板(2)の他方の主面(2b)に塗液を噴出する第2塗液用ノズルとを備え、第1塗液用ノズル(18a)と第2塗液用ノズルとが、被処理基板(2)の厚み中心面に対して対称に配置されている両面塗布装置(1)とする。  または、基板の外縁部の一定の幅のみを正確に安定してリンスすることができ、リンスすべき外縁部の幅が狭くてもリンスする外縁部の幅の制御を容易に行うことができるエッジリンス装置を提供する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)