WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2009122966) LIQUID RAW MATERIAL VAPORIZER AND FILM FORMING APPARATUS USING THE SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/122966    International Application No.:    PCT/JP2009/055805
Publication Date: 08.10.2009 International Filing Date: 24.03.2009
IPC:
H01L 21/31 (2006.01), C23C 16/448 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo, 1076325 (JP) (For All Designated States Except US).
OKURA, Shigeyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: OKURA, Shigeyuki; (JP)
Agent: YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office, Room 323, Fuji Bldg., 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Priority Data:
2008-091545 31.03.2008 JP
Title (EN) LIQUID RAW MATERIAL VAPORIZER AND FILM FORMING APPARATUS USING THE SAME
(FR) VAPORISATEUR DE MATIÈRE PREMIÈRE LIQUIDE ET APPAREIL DE FORMATION DE FILM QUI L'UTILISE
(JA) 液体原料気化器及びそれを用いた成膜装置
Abstract: front page image
(EN)A liquid raw material vaporizer has a vaporizing section provided with an introduction port from which a liquid raw material in a state of droplet is introduced from a liquid raw material supply section; a bottomed cylindrical housing main body having an opening end on the introduction port side; a columnar block having a flange section which closes the opening end of the housing main body and is fitted in the housing main body by having a space between the inner surface of the housing main body and the columnar block; a breathable mist trap member, which is adhered on the inner surface to cover the outer surface of the columnar block, in a vaporizing flow path formed between the inner surface and the outer surface; a heating section arranged to cover the housing main body; and a jetting port, which is formed to be connected with the introduction port and penetrates the columnar block from an end surface to a side surface on the introduction port side of the columnar block and jets the liquid raw material toward the inner surface of the mist trap member; and a discharge port which is arranged on a bottom section of the housing main body and discharges a raw material gas generated by vaporization.
(FR)Le vaporisateur de matière première liquide selon l’invention présente une section vaporisation dotée d'un orifice d'introduction à travers lequel une matière première liquide dans un état de gouttelettes est introduite en provenance d'une section alimentation en matière première liquide ; d’un corps principal de logement cylindrique avec fond qui présente une extrémité d'ouverture du côté de l'orifice d'introduction ; d’un bloc en forme de colonne qui présente une section bride qui ferme l'extrémité d'ouverture du corps principal de logement et est reçue dans le corps principal de logement avec un espace entre la surface intérieure du corps principal de logement et le bloc en forme de colonne ; d’un élément de piège à brouillard respirable, qui adhère à la surface intérieure de manière à couvrir la surface extérieure du bloc en forme de colonne, dans un chemin de flux de vaporisation formé entre la surface intérieure et la surface extérieure ; d’une section chauffage agencée de manière à couvrir le corps principal de logement ; et d’un orifice de pulvérisation, qui est formé de manière à être connecté à l'orifice d'introduction et pénètre dans le bloc en forme de colonne à partir d'une surface d'extrémité vers une surface latérale du côté de l'orifice d'introduction du bloc en forme de colonne et pulvérise la matière première liquide vers la surface intérieure de l'élément de piège à brouillard ; et d'un orifice de décharge qui est disposé sur une section inférieure du corps principal de logement et décharge un gaz de matière première généré par la vaporisation.
(JA) 液体原料供給部から液滴状の液体原料が導入される導入口と、前記導入口側に開口端を有する有底筒状のハウジング本体と、前記ハウジング本体の開口端を閉塞するフランジ部を有し、前記ハウジング本体の内側表面に対して間隙を空けた状態で嵌入される柱状ブロックと、前記内側表面と前記柱状ブロックの外側表面との間に形成される気化流路内に、前記内側表面に密着すると共に前記外側表面を覆うように設けられた、通気性を有するミストトラップ部材と、前記ハウジング本体を覆うように設けられた加熱部と、前記導入口に連通し、前記柱状ブロックの導入口側の端面から側面に向けて貫通するように形成されて、前記液体原料を前記ミストトラップ部材の内側表面に向けて噴出する噴出孔と、前記ハウジング本体の底部に設けられ、気化されて生成された原料ガスを外部に送出する送出口と、を備えた気化部を有する液体原料気化器に関する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)