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1. (WO2009118355) MICROELECTROMECHANICAL INERTIAL SENSOR WITH ATMOSPHERIC DAMPING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.: WO/2009/118355 International Application No.: PCT/EP2009/053541
Publication Date: 01.10.2009 International Filing Date: 25.03.2009
IPC:
G01P 15/08 (2006.01)
Applicants: REINERT, Wolfgang[DE/DE]; DE (UsOnly)
HELLER, Martin[DE/DE]; DE (UsOnly)
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.[DE/DE]; Hansastrasse 27c 80686 Muenchen, DE (AllExceptUS)
SD SENSORDYNAMICS AG[AT/AT]; Schloss Eybesfeld 1e A-8403 Graz/Lebring, AT (AllExceptUS)
Inventors: REINERT, Wolfgang; DE
HELLER, Martin; DE
Agent: Leonhard Olgemoeller Fricke; Postfach 10 09 62 80083 Muenchen, DE
OLGEMOELLER, Luitgard; Leonhard Olgemoeller Fricke Postfach 10 09 62 80083 Muenchen, DE
Priority Data:
10 2008 016 004.027.03.2008DE
Title (EN) MICROELECTROMECHANICAL INERTIAL SENSOR WITH ATMOSPHERIC DAMPING
(FR) CAPTEUR INERTIEL MICROÉLECTROMÉCANIQUE AVEC AMORTISSEMENT ATMOSPHÉRIQUE
(DE) MIKROELEKTROMECHANISCHER INERTIALSENSOR MIT ATMOSPHAERISCHER BEDAEMPFUNG
Abstract: front page image
(EN) The present invention relates to an inertial sensor, preferably an acceleration sensor or multi-axis acceleration sensor as a microelectromechanical construction element, said sensor comprising a housing with at least one first gas-filled cavity in which a first detection unit is disposed moveably relative to the housing for detection of an acceleration to be detected, wherein the inertial sensor comprises a damping structure.
(FR) La présente invention concerne un capteur inertiel, de préférence un capteur d'accélération ou un capteur d'accélération multiaxes, sous forme d'un composant microélectromécanique, qui comprend un boîtier, lequel comporte au moins une première cavité remplie de gaz, dans laquelle, pour la détection d'une accélération à détecter, on a disposé une première unité de détection, pouvant se déplacer par rapport au boîtier, le capteur inertiel présentant une structure d'amortissement.
(DE) Die vorliegende Erfindung betrifft einen Inertialsensor, vorzugsweise einen Beschleunigungssensor oder Mehrachsen-Beschleunigungssensor als mikroelektromechanisches Bauelement, der ein Gehäuse mit wenigstens einer ersten gasgefüllten Kavität aufweist, in der zur Detektion einer zu erfassenden Beschleunigung eine erste Detektionseinheit gegenüber dem Gehäuse beweglich angeordnet ist, wobei der Inertialsensor eine Dämpfungsstruktur aufweist.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)