WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2009118148) INSPECTION APPARATUS FOR LITHOGRAPHY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/118148    International Application No.:    PCT/EP2009/002136
Publication Date: 01.10.2009 International Filing Date: 24.03.2009
IPC:
G01B 11/06 (2006.01), G01J 4/04 (2006.01), G01N 21/21 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; De Run 6501 NL-5504 DR Veldhoven (NL) (For All Designated States Except US).
STRAAIJER, Alexander [NL/NL]; (NL) (For US Only)
Inventors: STRAAIJER, Alexander; (NL)
Agent: VAN DEN HOOVEN, Jan; ASML Corporate Intellectual Property P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Priority Data:
61/064,728 24.03.2008 US
Title (EN) INSPECTION APPARATUS FOR LITHOGRAPHY
(FR) APPAREIL D'INSPECTION POUR LITHOGRAPHIE
Abstract: front page image
(EN)Four separately polarized beams are simultaneously measured upon diffraction from a substrate (W) to determine properties of the substrate. Linearly, circularly or elliptically polarized radiation is transmitted through a first beam splitter (N-PBS) and split into two polarized beams. These two beams are further split into two further beams using two further beam splitters, the further beam splitters (32,34) being rotated by 45° with respect to each other. The plurality of polarizing beam splitters enables the measurement of the intensity of all four beams and thus the measurement of the phase modulation and amplitude of the combined beams to give the features of the substrate. Algorithms are used to compare the four intensities of each of the polarized angles to give rise to the phase difference between the polarization directions and the ratio between the two main polarization direction amplitudes of the original polarized beam.
(FR)Quatre faisceaux séparément polarisés sont simultanément mesurés lors d'une diffraction à partir d'un substrat (W) pour déterminer des propriétés du substrat. Un rayonnement polarisé de façon linéaire, circulaire ou elliptique est transmis à travers un premier diviseur de faisceau (N-PBS) et divisé en deux faisceaux polarisés. Ces deux faisceaux sont en outre divisés en deux autres faisceaux à l'aide de deux autres diviseurs de faisceau, lesdits autres diviseurs de faisceau (32, 34) étant tournés de 45° l'un par rapport à l'autre. La pluralité de diviseurs de faisceau de polarisation permet la mesure de l'intensité de l'ensemble des quatre faisceaux et ainsi la mesure de la modulation de phase et de l'amplitude des faisceaux combinés pour donner les caractéristiques du substrat. Des algorithmes sont utilisés pour comparer les quatre intensités de chacun des angles polarisés pour établir la différence de phase entre les directions de polarisation et le rapport entre les deux amplitudes de direction de polarisation principales du faisceau polarisé initial.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)