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1. (WO2009066781) ABSOLUTE POSITION MEASUREMENT APPARATUS AND METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/066781    International Application No.:    PCT/JP2008/071273
Publication Date: 28.05.2009 International Filing Date: 18.11.2008
IPC:
G01B 11/00 (2006.01)
Applicants: CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo, 1468501 (JP) (For All Designated States Except US).
SEO, Yuzo [JP/JP]; (JP) (For US Only).
OUCHI, Chidane [JP/JP]; (JP) (For US Only).
UKAJI, Takao [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SEO, Yuzo; (JP).
OUCHI, Chidane; (JP).
UKAJI, Takao; (JP)
Agent: FUJIMOTO, Ryosuke; FUJIMOTO PATENT OFFICE, Yaesu Nagoya Building 6th Floor, 2-10, Yaesu 2-chome, Chuo-ku, Tokyo, 1040028 (JP)
Priority Data:
2007-302652 22.11.2007 JP
Title (EN) ABSOLUTE POSITION MEASUREMENT APPARATUS AND METHOD
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE MESURE DE POSITION ABSOLUE
Abstract: front page image
(EN)An absolute position measurement apparatus measures an absolute position of an object to be measured using a first light source and a second light source which has coherency lower than that of the first light source. The absolute position measurement apparatus includes a measurement part which measures a point where phases of interference signals from the first and the second light sources coincide with each other or a point where an intensity of the interference signal from the second light source is maximized, an origin defining part which defines the point measured by the measurement part as an origin position, a phase storing part which stores the phase of the interference signal from the first light source at the origin position, an origin redefining part which redefines the origin position, and a position calculating part which calculates the absolute position of the object to be measured.
(FR)L'invention porte sur un appareil de mesure de position absolue. Ledit appareil mesure la position absolue d'un objet à mesurer à l'aide d'une première source de lumière et d'une seconde source de lumière dont cohérence est inférieure à celle de la première source de lumière. L'appareil de mesure de position absolue comporte une partie mesure qui mesure un point où des phases de signaux d'interférence des première et seconde sources de lumière coïncident l'une avec l'autre ou un point où une intensité du signal d'interférence provenant de la seconde source de lumière est rendue maximale ; une partie définition d'origine qui définit le point mesuré par la partie de mesure en tant que position d'origine ; une partie stockage de phase qui stocke la phase du signal d'interférence de la première source de lumière à la position d'origine ; une partie redéfinition d'origine qui redéfinit la position d'origine ; et une partie calcul de position qui calcule la position absolue de l'objet à mesurer.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)