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1. (WO2009066602) DICING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/066602    International Application No.:    PCT/JP2008/070662
Publication Date: 28.05.2009 International Filing Date: 13.11.2008
H01L 21/301 (2006.01)
Applicants: Tokyo Seimitsu Co., Ltd. [JP/JP]; 2968-2, Ishikawa-machi, Hachioji-shi, Tokyo 1920032 (JP) (For All Designated States Except US).
TSUSHIMA, Takeo [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: TSUSHIMA, Takeo; (JP)
Agent: MATSUURA, Kenzo; Matsuura & Associates, P.O. Box 176, Shinjuku Sumitomo Bldg. 39F, 6-1, Nishi-shinjuku 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1630239 (JP)
Priority Data:
2007-299246 19.11.2007 JP
(JA) ダイシング方法
Abstract: front page image
(EN)A dicing apparatus of an aspect of this invention is characterized in that when a control means detects, while first and second imaging means are imaging a work mounted on a second worktable, that a work mounted on a first worktable also must be imaged by use of the first and second imaging means, the control means determines priorities of the operations being performed at the first and second worktables, and then if it can be determined that the priority of the operation being performed at the first worktable is higher, the control means interrupts the imaging of the work mounted on the second worktable and moves the first and second imaging means to the first worktable for imaging the work thereon.
(FR)Un aspect de cette invention porte sur un appareil de découpage en dés. Ledit appareil est caractérisé en ce que, si un moyen de commande détecte qu'une pièce montée sur une première table porte-pièce doit être imagée par des premier et second moyen d'imagerie pendant que ceux-ci forment l'image d'une pièce montée sur une seconde table porte-pièce, le moyen de commande détermine des priorités des opérations en train sur les première et seconde tables porte-pièce. Puis, s'il est possible de d'attribuer une priorité supérieure à l'opération effectuée sur la première table porte-pièce, le moyen de commande interrompt l'imagerie de la pièce montée sur la seconde table porte-pièce et déplace les premier et second moyens d'imagerie vers la première table porte-pièce pour en imager la pièce.
(JA) 本発明の一の態様に係るダイシング装置は、第2のワークテーブル上に載置されるワークを第1の撮像手段及び第2の撮像手段で撮像中、第1のワークテーブル上に載置されたワークにおいても前記第1の撮像手段及び前記第2の撮像手段で撮像する必要が有ることを制御手段により検知した場合、前記第1のワークテーブルと前記第2のワークテーブルとで行われている動作の優先度を前記制御手段により判断し、前記第1のワークテーブルにおける動作の優先度が高いと判断できる際、前記第2のワークテーブル上に載置されるワークの撮像を中断し、前記第1の撮像手段及び前記第2の撮像手段を移動させて前記第1のワークテーブル上のワークの撮像を行うことを特徴としている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)