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1. (WO2009066555) SCAN PROBE MICROSCOPE AND PROBE UNIT FOR SCAN PROBE MICROSCOPE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/066555    International Application No.:    PCT/JP2008/069879
Publication Date: 28.05.2009 International Filing Date: 31.10.2008
IPC:
G01Q 20/02 (2010.01), G01Q 30/02 (2010.01), G01Q 60/24 (2010.01)
Applicants: HITACHI, LTD. [JP/JP]; 6-6, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008280 (JP) (For All Designated States Except US).
WATANABE, Masahiro [JP/JP]; (JP) (For US Only).
BABA, Shuichi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
NAKATA, Toshihiko [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: WATANABE, Masahiro; (JP).
BABA, Shuichi; (JP).
NAKATA, Toshihiko; (JP)
Agent: PATENT CORPORATE BODY DAI-ICHI KOKUSAI TOKKYO JIMUSHO; daVinci Tamachi 10-5, Shiba 4-chome Minato-ku, Tokyo 108-0014 (JP)
Priority Data:
2007-302474 22.11.2007 JP
Title (EN) SCAN PROBE MICROSCOPE AND PROBE UNIT FOR SCAN PROBE MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE À SONDE À BALAYAGE ET UNITÉ DE SONDE POUR UN MICROSCOPE À SONDE À BALAYAGE
(JA) 走査プローブ顕微鏡及び走査プローブ顕微鏡用探針ユニット
Abstract: front page image
(EN)While driving the probe of a scan probe microscope at a very high speed, the contact between the probe and a sample is optically detected, and quick probe detection adapted to samples, such as a large semiconductor wafer and a flat display substrate, which cannot be driven is enabled. A parallel light beam for optically detecting the contact between the probe and the sample and optically vibrating the probe is directed to a region below the objective for observing the sample and focused on a fixed point on a cantilever by means of a micro focusing lens so attached below the objective as to be driven with the cantilever, thus irradiating the sample with the light beam. Therefore, even when the cantilever is moved, the fixed point on the cantilever can be irradiated at all times. Further, since the focusing lens is very small, the sample can be scanned with the cantilever at high speed without influencing the dynamic characteristics of the cantilever drive unit so as to observe and measure the sample.
(FR)Selon l'invention, tout en entraînant la sonde d'un microscope à sonde à balayage à une vitesse très élevée, le contact entre la sonde et un échantillon est optiquement détecté et une détection de sonde rapide adaptée à des échantillons, tels qu'une grande tranche semi-conductrice et un substrat d'affichage plat, qui ne peuvent pas être entraînés, est activée. Un faisceau lumineux parallèle pour une détection optique du contact entre la sonde et l'échantillon et faisant vibrer optiquement la sonde est dirigé vers une région au-dessous de l'objectif pour observer l'échantillon et focalisé sur un point fixe sur un porte-à-faux au moyen d'une micro-lentille de focalisation attachée au-dessous de l'objectif de façon à être entraînée avec le porte-à-faux, irradiant ainsi l'échantillon avec le faisceau lumineux. Par conséquent, même lorsque le porte-à-faux est déplacé, le point fixe sur le porte-à-faux peut être irradié à tout moment. En outre, étant donné que la lentille de focalisation est très petite, l'échantillon peut être balayé avec le porte-à-faux à une vitesse élevée sans influencer les caractéristiques dynamiques de l'unité d'entraînement de porte-à-faux, de façon à observer et à mesurer l'échantillon.
(JA)走査プローブ顕微鏡の探針をきわめて高速に駆動しつつ、探針と試料の接触状態の検出・探針の加振を光学的に行うことを可能とし、大型の半導体基板、フラットディスプレイ基板のような、試料側を駆動できないような試料に対応した、高速走査プローブ検出を可能とする。 探針と試料の接触状態の検出・探針の加振を光学的に行うための光線を、平行光線の状態で試料観察用の対物レンズの下に導入して、さらに、対物レンズ下にカンチレバーと共に駆動されるように取り付けた微小な集光レンズでカンチレバー上の一定の点に集光して照射することにより、カンチレバーが移動しても常にカンチレバー上の一定の位置を照射することが可能となり、また、集光レンズは微小なので、カンチレバー駆動部の動特性に影響を与えず、高速にカンチレバーを走査して試料を観察・測定することが可能となる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)