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1. (WO2009066371) D/A CONVERTER AND ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/066371    International Application No.:    PCT/JP2007/072455
Publication Date: 28.05.2009 International Filing Date: 20.11.2007
IPC:
H03M 1/68 (2006.01), H03M 1/10 (2006.01)
Applicants: ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 32-1, Asahi-cho 1-chome, Nerima-ku, Tokyo 1790071 (JP) (For All Designated States Except US).
YABARA, Hidefumi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: YABARA, Hidefumi; (JP)
Agent: OKAMOTO, Keizo; OKAMOTO PATENT OFFICE Yamanishi Bldg., 4F, 11-7, Nihonbashi Ningyo-cho 3-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030013 (JP)
Priority Data:
Title (EN) D/A CONVERTER AND ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY SYSTEM
(FR) CONVERTISSEUR N/A ET SYSTÈME DE LITHOGRAPHIE PAR FAISCEAU D'ÉLECTRONS
(JA) D/A変換器及び電子ビーム露光装置
Abstract: front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide a D/V converter exhibiting a high resolution and having a good linearity with respect to digital values and an electron beam lithography system equipped with such a D/A converter. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A D/A converter (30) comprises a D/A conversion basic unit (35) composed of a first D/A converting section for D/A conversion of high-order bits and a second D/A converting section for D/A conversion of low-order bits and having an auxiliary bit with the same weight as that of the least significant bit, a correction D/A converting unit (38), an error detecting unit (33) for generating a digital code to be set in a D/A converter of the correction D/A converting unit (38), and a control unit (34). The control unit (34) compares a first bit current source with a second bit current source at a level lower than that of the first bit current source, allows the error detecting unit (33) to generate a digital code to be set in the D/A converter of the correction D/A converting unit (38) if the control unit (34) judges that the value of the bit current source has varied, and corrects the value of the bit current source.
(FR)L'invention concerne un convertisseur N/A ayant une résolution élevée et ayant une bonne linéarité par rapport aux valeurs numériques et un système de lithographie par faisceau d'électrons équipé d'un tel convertisseur N/A. Un convertisseur N/A (30) comprend une unité de base de conversion N/A (35) composée d'une première section de conversion N/A pour la conversion N/A de bits d'ordre supérieur, et une seconde section de conversion N/A pour la conversion N/A des bits d'ordre inférieur et ayant un bit auxiliaire avec le même poids que celui du bit le moins important, une unité de conversion N/A de correction (38), une unité de détection d'erreur (33) pour générer un code numérique devant être fixé dans un convertisseur N/A de l'unité de conversion N/A de correction (38), et une unité de commande (34). L'unité de commande (34) compare une première source de courant binaire avec une seconde source de courant binaire à un niveau inférieur à celui de la première source de courant binaire, permet à l'unité de détection d'erreur (33) de générer un code numérique devant être fixé dans le convertisseur N/A de l'unité de conversion N/A de correction (38) si l'unité de commande (34) juge que la valeur de la source de courant binaire a changé, et corrige la valeur de la source de courant binaire.
(JA)【課題】高分解能であってデジタル値に対する直線性がよいD/A変換器及びそのD/A変換器を搭載した電子ビーム露光装置を提供すること。 【解決手段】D/A変換器30は、上位ビットのD/A変換を行う第1のD/A変換部と下位ビットのD/A変換を行う第2のD/A変換部で構成され、最下位ビットと同一の重み付けの補助ビットを備えたD/A変換基本部35と、補正用D/A変換部38と、補正用D/A変換部38のD/A変換器に設定するデジタルコードを生成する誤差検出処理部33と、制御部34とを備える。制御部34は、ビット電流源と当該ビット電流源より下位のビット電流源とを比較して、ビット電流源の値が変動したと判定したとき、補正用D/A変換器に設定するデジタルコードを誤差検出処理部33に生成させ、ビット電流源の値を補正する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)