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1. (WO2009066355) POLISHING HEAD, POLISHING APPARATUS AND WORK REMOVING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/066355    International Application No.:    PCT/JP2007/001282
Publication Date: 28.05.2009 International Filing Date: 21.11.2007
IPC:
H01L 21/304 (2006.01)
Applicants: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. [JP/JP]; 6-2, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP) (For All Designated States Except US).
Fujikoshi Machinery Corp. [JP/JP]; 1650, Kiyono, Matsushiro-machi, Nagano-shi, Nagano 3811233 (JP) (For All Designated States Except US).
MASUMURA, Hisashi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KITAGAWA, Koji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MORITA, Kouji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KISHIDA, Hiromi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ARAKAWA, Satoru [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: MASUMURA, Hisashi; (JP).
KITAGAWA, Koji; (JP).
MORITA, Kouji; (JP).
KISHIDA, Hiromi; (JP).
ARAKAWA, Satoru; (JP)
Agent: YOSHIMIYA, Mikio; 1st Shitaya Bldg. 8F, 6-11, Ueno 7-chome Taito-ku, Tokyo 1100005 (JP)
Priority Data:
Title (EN) POLISHING HEAD, POLISHING APPARATUS AND WORK REMOVING METHOD
(FR) TÊTE DE POLISSAGE, APPAREIL DE POLISSAGE ET PROCÉDÉ DE RETRAIT D'OUVRAGE
(JA) 研磨ヘッド及び研磨装置並びにワークの剥離方法
Abstract: front page image
(EN)A polishing head (11) is provided with a disc-like carrier (13) whereupon an annular protruding section (13a) and a carrier locking section (13b) are formed at the periphery; a disc-like head main body (12) whereupon an annular head main body locking section (12a) is formed on the outer side; a diaphragm (14) for connecting the head main body and the carrier; and a spacer (15) positioned between the carrier locking section and the head main body locking section, at a part of the carrier locking section and/or the head main body locking section. When the head main body in brought up, since the carrier locking section and/or the head main body locking section is permitted to abut to the spacer, the carrier is tilted to be brought up, and a work (W) is removed from a polishing cloth. Thus, the work can be easily, safely and surely removed from the polishing cloth by bringing up the polishing head, which is holding the work, without forming a groove on the polishing cloth and overhanging the polishing head from a surface table.
(FR)La présente invention se rapporte à une tête de polissage (11) comportant un support en forme de disque (13) sur lequel une section annulaire faisant saillie (13a) et une section de blocage de support (13b) sont formées à la périphérie ; un corps principal de tête en forme de disque (12) sur lequel une section de blocage de corps principal de tête annulaire (12a) est formée sur le côté extérieur ; un diaphragme (14) servant à relier le corps principal de tête et le support ; et une entretoise (15) positionnée entre la section de blocage de support et la section de blocage de corps principal de tête, sur une partie de la section de blocage de support et/ou de la section de blocage de corps principal de tête. Lorsque le corps principal de tête est élevé, étant donné que la section de blocage de support et/ou la section de blocage de corps principal de tête sont autorisées à buter contre l'entretoise, le support est incliné pour être élevé, et un ouvrage (W) est retiré d'un tissu de polissage. Ainsi, l'ouvrage peut être retiré de manière simple, sûre et sécurisée du tissu de polissage grâce à l'élévation de la tête de polissage, qui maintient l'ouvrage, sans former de rainure sur le tissu de polissage ni faire surplomber la tête de polissage d'une table de surface.
(JA) 本発明は、周縁部に環状の突出部13aとキャリア掛止部13bが形成されている円盤状のキャリア13と、外側に環状のヘッド本体掛止部12aが形成されている円盤状のヘッド本体12と、前記ヘッド本体と前記キャリアを連結するダイヤフラム14と、前記キャリア掛止部及び/またはヘッド本体掛止部の一部に、該キャリア掛止部と前記ヘッド本体掛止部との間に位置するスペーサー15とを有し、前記ヘッド本体を上昇させた時、前記キャリア掛止部及び/またはヘッド本体掛止部と前記スペーサーとが当接することで、前記キャリアを傾斜させて持ち上げてワークWを研磨布から剥離するものである研磨ヘッド11である。これにより、研磨布に溝を形成したり、定盤から研磨ヘッドをオーバーハングさせたりすることなく、ワークを保持した研磨ヘッドを上昇させてワークを研磨布から容易かつ安全、確実に剥離することができる研磨ヘッド等が提供される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)