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1. (WO2009065819) POLARISER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/065819    International Application No.:    PCT/EP2008/065733
Publication Date: 28.05.2009 International Filing Date: 18.11.2008
IPC:
G02B 5/30 (2006.01), G02B 1/08 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2, 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
MÜLLER, Ralf [DE/DE]; (DE) (For US Only).
GRUNER, Toralf [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: MÜLLER, Ralf; (DE).
GRUNER, Toralf; (DE)
Agent: FRANK, Hartmut; Demski, Frank & Nobbe, Reichspräsidentenstr. 21-25, 45470 Mülheim (DE)
Priority Data:
10 2007 055 567.0 20.11.2007 DE
60/989,249 20.11.2007 US
Title (EN) POLARISER
(FR) SYSTÈME OPTIQUE
Abstract: front page image
(EN)The invention concerns an optical system having an optical axis (OA) and comprising a polariser (100, 200) having a first subelement (110, 210) which has a non-planar, optically effective surface wherein the maximum effective retardation introduced by the first subelement along the optical axis (OA) is less than a quarter of the working wavelength of the optical system, and a second subelement (120, 220), wherein said first subelement and said second subelement have mutually facing surfaces (110a, 120a, 210a, 220a) which are mutually complementary, and an actuator (150, 250) for changing the relative position of said first subelement (110, 210) with respect to said second subelement (120, 220).
(FR)L'invention porte, selon un aspect, sur un système optique ayant un axe optique OA (OA) et comprenant au moins un manipulateur de polarisation (100, 200) ayant un premier sous-élément (110, 210) qui a une surface optiquement efficace, non plane et qui, pour une lumière passant à travers celui-ci, provoque un changement de l'état de polarisation, un retard effectif maximal introduit par le premier sous-élément le long de l'axe optique (OA) étant inférieur à un quart de la longueur d'onde de travail du système optique, et un second sous-élément (120, 220), ledit premier sous-élément et ledit second sous-élément ayant des surfaces mutuellement opposées (110a, 120a; 210a, 220a) qui sont mutuellement complémentaires, et un manipulateur de position (150, 250) pour une manipulation de la position relative dudit premier sous-élément (110, 210) et dudit second sous-élément (120, 220).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)