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Pub. No.:    WO/2009/065740    International Application No.:    PCT/EP2008/065082
Publication Date: 28.05.2009 International Filing Date: 06.11.2008
G01N 21/956 (2006.01), G01B 11/25 (2006.01), G01M 11/02 (2006.01)
Applicants: LAMBDA-X [BE/BE]; Zoning II, rue de l'Industrie 37, B-1400 Nivelles (BE) (For All Designated States Except US).
BEGHUIN, Didier [BE/BE]; (BE) (For US Only).
JOANNES, Luc [BE/BE]; (BE) (For US Only)
Inventors: BEGHUIN, Didier; (BE).
Agent: CALVO DE NO, Rodrigo; Gevers & Vander Haeghen, Holidaystraat 5, B-1831 Diegem (BE)
Priority Data:
07121009.0 19.11.2007 EP
Abstract: front page image
(EN)The present invention relates to a Fourier transform deflectometry system (1) and method for the optical inspection of a phase and amplitude object (2) placed in an optical path between a grating (3) and an imaging system (4), at a distance h of said grating 3. The grating (3) forms a contrast-based periodic pattern with spatial frequencies &mgr;0, v0 in, respectively, orthogonal axes x,y in an image plane, and the imaging system (4) comprises an objective (5) and an imaging sensor (6) comprising a plurality of photosensitive elements. Spatial frequencies &mgr;0, v0 are equal or lower than the Nyquist frequencies of the imaging system in the respective x and y axes. According to the method of the invention, a first image of said pattern, distorted by the phase and amplitude object (2), is first captured through the objective (5) by the imaging sensor (6). Then, a Fourier transform of said first image in a spatial frequency domain is calculated, at least one first- or higher-order spectrum of said Fourier transform is selected and shifted in said frequency domain, so as to substantially place it at a central frequency of said Fourier transform, and a reverse Fourier transform of said at least one shifted first- or higher-order spectrum of said Fourier transform is performed so as to obtain a complex function g(x,y)=l(x,y)ei&phis;(x,y), wherein l(x,y) is an intensity and &phis;(x,y) a phase linked to optical deflection angles ϑx, ϑy in, respectively, the directions of the x and y axes, in the following form: &phis;(x,y)=- 2ττh(&mgr;0tanϑx+v0tanϑy).
(FR)La présente invention concerne un système (1) et un procédé de déflectométrie par transformée de Fourier pour l'inspection optique d'un objet à phase et amplitude (2) placé dans un trajet optique entre une grille (3) et un système d'imagerie (4), à une distance h de ladite grille (3). La grille (3) forme un motif périodique à base de contraste avec des fréquences spatiales &mgr;0, v0, respectivement, dans des axes orthogonaux x, y d'un plan d'image, et le système d'imagerie (4) comprend un objectif (5) et un détecteur d'imagerie (6) comprenant une pluralité d'éléments photosensibles. Les fréquences spatiales &mgr;0, v0 sont égales ou inférieures aux fréquences de Nyquist du système d'imagerie dans les axes x et y respectifs. Selon le procédé de l'invention, une première image dudit motif, déformée par l'objet à phase et amplitude (2), est tout d'abord capturée à travers l'objectif (5) par le détecteur d'imagerie (6). Ensuite, une transformée de Fourier de ladite première image dans un domaine de fréquence spatiale est calculée, au moins un spectre du premier ordre ou d'ordre supérieur de ladite transformée de Fourier est sélectionné et décalé dans ledit domaine de fréquence, de façon à être sensiblement placé à une fréquence centrale de ladite transformée de Fourier, et une transformée de Fourier inverse dudit ou desdits spectres du premier ordre ou d'ordre supérieur décalés de ladite transformée de Fourier est effectuée de façon à obtenir une fonction complexe g(x,y) = 1(x,y)ei&phis;(x,y), dans laquelle l(x,y) est une intensité et &phis;(x,y) une phase liée à des angles de déviation optique ϑx, ϑy, respectivement dans les directions des axes x et y, sous la forme suivante : &phis;(x,y) = - 2ττh(&mgr;0tanϑx+v0tanϑy).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)