WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2009065463) INTERFEROMETER ARRANGEMENT AND METHOD FOR THE OPERATION THEREOF
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/065463    International Application No.:    PCT/EP2008/008341
Publication Date: 28.05.2009 International Filing Date: 01.10.2008
IPC:
G01B 9/02 (2006.01), G01N 21/45 (2006.01)
Applicants: DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH [DE/DE]; Dr.Johannes-Heidenhain-Str. 5, 83301 Traunreut (DE) (For All Designated States Except US).
HOLZAPFEL, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: HOLZAPFEL, Wolfgang; (DE)
Priority Data:
10 2007 055 665.0 21.11.2007 DE
Title (DE) INTERFEROMETERANORDNUNG UND VERFAHREN ZU DEREN BETRIEB
(EN) INTERFEROMETER ARRANGEMENT AND METHOD FOR THE OPERATION THEREOF
(FR) DISPOSITIF D'INTERFÉROMÉTRIE ET PROCÉDÉ POUR LE FAIRE FONCTIONNER
Abstract: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft eine Interferometeranordnung und ein Verfahren zu deren Betrieb. Die Interferometeranordnung umfasst ein Interferometer mit einer Interferometer-Lichtquelle, deren emittierte Strahlung in einen Mess- und einen Referenzarm aufteilbar ist, wobei ein Messobjekt im Messarm angeordnet ist und das Interferometer von der Position des Messobjekts abhängige Interferometersignale liefert. Ferner sind Erfassungsmittel zur Erfassung von Fluktuationen des Brechungsindexes der Luft im Mess- und/oder Referenzarm vorgesehen. Hierbei umfassen die Erfassungsmittel eine Spektrometereinheit; die Spektrometereinheit weist mindestens eine Spektrometer-Lichtquelle sowie mindestens eine Spektrometer-Detektoreinheit auf. Die von der Spektrometer-Lichtquelle emittierten Strahlenbündel werden den Strahlenbündeln der Interferometer-Lichtquelle überlagert, wobei die Spektrometer-Lichtquelle Strahlung mit einer Wellenlänge emittiert, die im Bereich einer Absorptionslinie mindestens eines bestimmten Luftbestandteils liegt. Die Spektrometer-Detektoreinheit dient zur Erzeugung von Spektrometersignalen, die die Absorption des Luftbestandteils bzgl. der Spektrometer-Lichtquellenwellenlänge im Mess- und/oder Referenzarm charakterisieren.
(EN)The present invention relates to an interferometer arrangement and a method for the operation thereof. The interferometer arrangement comprises an interferometer having an interferometer light source, the emitted radiation of which may be divided into a measurement arm and a reference arm, wherein a measured object is disposed in the measurement arm and the interferometer provides interferometer signals as a function of the position of the measured object. Detection means are further provided for detecting fluctuations in the refractive index of the air in the measurement and/or reference arm. The detection means comprise a spectrometer unit; the spectrometer unit comprises at least one spectrometer light source and at least one spectrometer detector unit. The ray bundles emitted by the spectrometer light source are overlaid with the ray bundles of the interferometer light source, wherein the spectrometer light source emits radiation with a wavelength in the range of an absorption line of at least one certain air component. The spectrometer detector unit serves to generate spectrometer signals that characterize the absorption of the air component with regard to the spectrometer light source wavelength in the measurement and/or reference arm.
(FR)L'invention concerne un dispositif d'interférométrie et un procédé pour le faire fonctionner. Le dispositif d'interférométrie comprend un interféromètre avec une source lumineuse d'interférométrie dont le rayonnement émis peut être divisé en un bras de mesure et un bras de référence, sachant qu'un objet à mesurer est disposé dans le bras de mesure et que l'interféromètre délivre des signaux d'interférométrie qui sont fonction de la position de l'objet à mesurer. Des moyens d'enregistrement sont en outre prévus pour enregistrer les fluctuations de l'indice de réfraction de l'air dans le bras de mesure et/ou dans le bras de référence. Les moyens d'enregistrement comprennent ici une unité de spectrométrie ; l'unité de spectrométrie présente au moins une source lumineuse de spectrométrie et au moins une unité détectrice de spectrométrie. Les faisceaux émis par la source lumineuse de spectrométrie sont superposés aux faisceaux de la source lumineuse d'interférométrie, sachant que la source lumineuse de spectrométrie émet un rayonnement à une longueur d'onde qui se situe dans la zone d'une ligne d'absorption d'au moins un composant déterminé de l'air. L'unité détectrice de spectrométrie sert à produire des signaux de spectrométrie qui caractérisent l'absorption du composant de l'air relativement à la longueur d'onde de la source lumineuse de spectrométrie dans le bras de mesure et/ou dans le bras de référence.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)