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1. (WO2009064039) APPARATUS FOR INSPECTING HOMOGENEITY OF THE COEFFICIENT OF THE OPTICALLY INDUCED LINEAR BIREFRINGENCE IN THIN FILM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/064039    International Application No.:    PCT/KR2008/000670
Publication Date: 22.05.2009 International Filing Date: 04.02.2008
IPC:
G01J 3/28 (2006.01), G01N 33/48 (2006.01)
Applicants: INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION SOGANG UNIVERSITY [KR/KR]; Sogang University, 1-1 Sinsu-dong, Mapo-gu, Seoul 121-742 (KR) (For All Designated States Except US).
CHO, Kyu-Man [KR/KR]; (KR) (For US Only).
PARK, Young-Kyu [KR/KR]; (KR) (For US Only)
Inventors: CHO, Kyu-Man; (KR).
PARK, Young-Kyu; (KR)
Agent: YANG, Boo-Hyun; 4th Fl. Oksan Bldg., 1627-10, Bongcheon-7-dong, Gwanak-gu, Seoul 151-818 (KR)
Priority Data:
10-2007-0116223 14.11.2007 KR
Title (EN) APPARATUS FOR INSPECTING HOMOGENEITY OF THE COEFFICIENT OF THE OPTICALLY INDUCED LINEAR BIREFRINGENCE IN THIN FILM
(FR) APPAREIL D'INSPECTION DE L'HOMOGÉNÉITÉ DU COEFFICIENT DE BIRÉFRINGENCE LINÉAIRE INDUITE OPTIQUEMENT DANS UN FILM MINCE
Abstract: front page image
(EN)The present invention relates to an apparatus for inspecting homogeneity of a nonlinear coefficient in a sample. The apparatus comprises: a scanner arranged with a sample to be inspected and moving it along X and Y directions; a pumping system deriving birefringence by a light Kerr effect for the sample arranged on the scanner; an interferometer measuring the birefringence in the sample; and a control computer calculating the nonlinear coefficient values using the birefringence provided from the interferometer. The control computer receives the birefringence for all positions in the measurement region in the sample from the interferometer while moving the scanner in the X and Y directions along the measurement region in the sample, extracts the nonlinear coefficient values using the birefringence and the light source intensity values of the pumping system, and prepares and provides a 3D image using all the nonlinear coefficient values extracted for the measurement region in the sample. With the present invention, the nonlinear coefficients for the measurement region in the sample being the nonlinear medium are prepared and provided as the image, thereby making it possible to inspect the homogeneity of the nonlinear coefficient value.
(FR)L'invention porte sur un appareil d'inspection de l'homogénéité du coefficient non linéaire d'un échantillon. L'appareil comprend : un scanneur sur lequel est disposé l'échantillon à inspecter, et le déplaçant le long des axes des X et des Y; un système de pompage optique produisant une biréfringence par effet Kerr dans l'échantillon disposé sur le scanneur; un interféromètre mesurant la biréfringence de l'échantillon; et un ordinateur de contrôle calculant les valeurs des coefficients non linéaires en utilisant la biréfringence mesurée par l'interféromètre. L'ordinateur de contrôle: reçoit de l'interféromètre la biréfringence pour toutes les positions de la zone de mesure de l'échantillon pendant le déplacement du scanneur dans le sens des X et des Y le long de la zone de mesure de l'échantillon; extrait les valeurs des coefficients non linéaires en utilisant la biréfringence et les valeurs d'intensité de la source lumineuse du système de pompage; et prépare et présente une image en 3D en utilisant toutes les valeurs des coefficients non linéaires extraites de la zone de mesure de l'échantillon. L'invention permet de préparer et de présenter sous forme d'image les coefficients non linéaires de la zone de mesure de l'échantillon constituant le milieu non linéaire, et rend donc possible l'inspection de l'homogénéité des valeurs desdits coefficients non linéaires.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: Korean (KO)