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1. (WO2009063295) METHODS AND APPARATUSES FOR DETECTING PATTERN ERRORS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/063295    International Application No.:    PCT/IB2008/003046
Publication Date: 22.05.2009 International Filing Date: 12.11.2008
Chapter 2 Demand Filed:    09.09.2009    
IPC:
G01N 21/956 (2006.01), G06T 7/00 (2006.01), G09G 3/00 (2006.01)
Applicants: MICRONIC LASER SYSTEMS AB [SE/SE]; Nytorpsvagen 9 Box 3141 S-18303 Taby (SE) (For All Designated States Except US).
SJOSTROM, Fredrik [SE/SE]; (SE) (For US Only).
EKBERG, Peter [SE/SE]; (SE) (For US Only)
Inventors: SJOSTROM, Fredrik; (SE).
EKBERG, Peter; (SE)
Agent: JOHANNNESSON, Erik; Micronic Laser Systems AB Nytorpsvägen 9 S-183 03 Täby (SE)
Priority Data:
60/987,186 12.11.2007 US
Title (EN) METHODS AND APPARATUSES FOR DETECTING PATTERN ERRORS
(FR) PROCÉDÉS ET APPAREILS POUR DÉTECTER DES ERREURS DE MOTIF
Abstract: front page image
(EN)Methods and apparatuses for quality control and detecting errors related to the manufacturing and production of more accurate patterns and resultant devices are provided. The patterns or devices may include patterns used in display applications such as TFT-LCD, OLED, SED, PDP, FED, LTPS-LCD and similar display technologies using at least partially cyclical patterns.
(FR)L'invention porte sur des procédés et sur des appareils pour le contrôle de qualité et pour la détection d'erreurs associées à la fabrication et à la production de motifs plus précis, et sur les dispositifs résultants. Les motifs ou les dispositifs peuvent comprendre des motifs utilisés dans des applications d'affichage, telles qu'un affichage à cristaux liquides à transistors en couche mince (TFT-LCD), à diodes électroluminescentes organiques (OLED), un affichage émetteur d'électrons à conduction de surface (SED), un panneau d'affichage à plasma (PDP), un affichage à émission de champ (FED), un affichage à cristaux liquides en polysilicium basse température (LTPS-LCD) et des technologies d'affichage similaires utilisant des motifs au moins partiellement cycliques.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)