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1. (WO2009062887) METHOD AND APPARATUS FOR ULTRASONIC BONDING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/062887    International Application No.:    PCT/EP2008/065101
Publication Date: 22.05.2009 International Filing Date: 07.11.2008
IPC:
H01L 21/66 (2006.01), B23K 20/00 (2006.01), H01L 21/607 (2006.01)
Applicants: HESSE & KNIPPS GMBH [DE/DE]; Vattmannstr. 6, 33100 Paderborn (DE) (For All Designated States Except US).
HESSE, Hans-Jürgen [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BRÖKELMANN, Michael [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HAGENKÖTTER, Sebastian [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: HESSE, Hans-Jürgen; (DE).
BRÖKELMANN, Michael; (DE).
HAGENKÖTTER, Sebastian; (DE)
Agent: BRÖTZ, Helmut; Corneliusstrasse 45, 42329 Wuppertal (DE)
Priority Data:
102007054626.4 12.11.2007 DE
Title (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ULTRASCHALLBONDEN
(EN) METHOD AND APPARATUS FOR ULTRASONIC BONDING
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE SOUDAGE PAR ULTRASONS
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Qualitätskontrolle beim Ultraschall-Bonden, bei welchem eine Transducer-Bondwerkzeug-Einheit und ein Ultraschall-Generator verwendet werden und bei dem während des Bondens mittels eines oder mehrerer Sensoren Messsignale von einem oder mehreren, während des Bondens variablen Parametern zur Beurteilung der Bondqualität und/oder zur Beeinflussung des Bondens erfasst werden und schlägt zur vorteilhaften Weiterbildung vor, dass während des Bondens zumindest ein den Zeit-Geschwindigkeit-Verlauf der Spitze des Ultraschall-Werkzeuges in deren Schwingungsrichtung repräsentierendes Geschwindigkeitsverlauf-Messsignal erfasst wird. Die Erfindung betrifft auch eine Bondvorrichtung, die zur Durchführung des Verfahrens geeignet ist. Die Erfindung betrifft außerdem weitere Verfahren zur Qualitätskontrolle beim Ultraschall-Bonden und zur Durchführung dieser Verfahren geeignete Bondvorrichtungen.
(EN)The invention relates to a method for quality control during ultrasonic bonding, in which a transducer bonding tool unit and an ultrasonic generator are used and in which, during the bonding, one or more sensors are used to sense measurement signals for one or more parameters, which can vary during the bonding, for assessing the bond quality and/or for influencing the bonding, and, as an advantageous development, proposes that, during the bonding, at least one speed profile measurement signal representing the time/speed profile of the tip of the ultrasonic tool in the direction of oscillation thereof be sensed. The invention also relates to a bonding apparatus which is suitable for carrying out the method. Furthermore, the invention relates to other quality control methods for ultrasonic bonding and to bonding apparatuses which are suitable for carrying out these methods.
(FR)L'invention concerne un procédé de contrôle de qualité lors du soudage par ultrasons, selon lequel on utilise une unité transducteur-outil de soudage et un générateur d'ultrasons et selon lequel, pendant le soudage, afin d'évaluer la qualité du soudage et/ou d'agir sur elle, on enregistre au moyen d'un ou plusieurs capteurs des signaux de mesure d'un ou plusieurs paramètres variables pendant le soudage. Selon l'invention, afin de perfectionner avantageusement ce procédé, on enregistre pendant le soudage au moins un signal de mesure d'allure de vitesse représentant l'allure temps/vitesse de la pointe de l'outil à ultrasons dans sa direction de vibration. L'invention concerne également un dispositif de soudage convenant pour la mise en œuvre du procédé. L'invention concerne en outre d'autres procédés de contrôle de qualité lors du soudage par ultrasons, et des dispositifs de soudage convenant pour la mise en œuvre de ces procédés.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)