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1. (WO2009062665) OPTICAL ELEMENT FOR THE REFLECTION OF UV RADIATION, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS COMPRISING THE SAME
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/062665    International Application No.:    PCT/EP2008/009512
Publication Date: 22.05.2009 International Filing Date: 12.11.2008
IPC:
G02B 5/08 (2006.01), G02B 17/08 (2006.01)
Applicants: CARL ZEISS SMT AG [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2, 73447 Oberkochen (DE) (For All Designated States Except US).
PAZIDIS, Alexandra [DE/DE]; (DE) (For US Only).
ZACZEK, Christoph [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FELDERMANN, Horst [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HUBER, Peter [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: PAZIDIS, Alexandra; (DE).
ZACZEK, Christoph; (DE).
FELDERMANN, Horst; (DE).
HUBER, Peter; (DE)
Agent: KOHLER SCHMID MÖBUS; Ruppmannstr. 27, 70565 Stuttgart (DE)
Priority Data:
10 2007 054 731.7 14.11.2007 DE
60/987,969 14.11.2007 US
Title (EN) OPTICAL ELEMENT FOR THE REFLECTION OF UV RADIATION, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS COMPRISING THE SAME
(FR) ELÉMENT OPTIQUE DESTINÉ À LA RÉFLEXION D'UN RAYONNEMENT UV, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CET ÉLÉMENT ET APPAREIL D'EXPOSITION DE PROJECTION COMPRENANT CET ÉLÉMENT
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to an optical element (1a, 1b) for the reflection of UV radiation at an operating wavelength below 250 nm, preferably at 193 nm, comprising: a substrate (2a, 2b), a reflective layer (3a, 3b) made of aluminum superimposed on the substrate (2a, 2b), the reflective aluminum layer (3a, 3b) not being transparent to UV radiation. The reflective aluminum layer (3a, 3b) is (111)-plane oriented, and the reflective optical element (1a, 1b) has a reflectivity of more than 85 %, preferably of more than 88 %, more preferably of more than 92 %, in at least a range of incident angles of 10°, preferably of 15°, at the operating wavelength. The invention also relates to an optical element having a reflective layer made from a material having a higher melting point than aluminum, to methods for producing such optical elements, and to optical arrangements comprising such optical elements.
(FR)L'invention se rapporte à un élément optique (1a, 1b) destiné à la réflexion d'un rayonnement UV à une longueur d'onde de fonctionnement qui se situe en dessous de 250 nm, de préférence à 193 nm, qui comprend : un substrat (2a, 2b), une couche réfléchissante (3a, 3b) réalisée en aluminium et superposée au substrat (2a, 2b), la couche en aluminium réfléchissante (3a, 3b) n'étant pas transparente vis-à-vis du rayonnement UV. La couche en aluminium réfléchissante (3a, 3b) est orientée dans un plan (111), et l'élément optique réfléchissant (1a, 1b) présente une réflectivité supérieure à 85 %, de préférence supérieure à 88 %, mieux encore supérieure à 92 %, dans au moins une plage d'angles d'incidence de 10 °, de préférence de 15 °, à la longueur d'onde de fonctionnement. L'invention se rapporte également à un élément optique qui présente une couche réfléchissante réalisée dans un matériau qui présente un point de fusion supérieur à celui de l'aluminium, à des procédés destinés à produire de tels éléments optiques, et à des agencements optiques qui comprennent de tels éléments optiques.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)