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1. (WO2009061670) WORKPIECE SUPPORT WITH FLUID ZONES FOR TEMPERATURE CONTROL
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/061670    International Application No.:    PCT/US2008/081923
Publication Date: 14.05.2009 International Filing Date: 31.10.2008
IPC:
H01L 21/68 (2006.01), B44C 1/22 (2006.01)
Applicants: MATTSON TECHNOLOGY, INC. [US/US]; 47131 Bayside Parkway Fremont, California 94538 (US) (For All Designated States Except US).
ZUCKER, Martin, L. [US/US]; (US) (For US Only).
DEVINE, Daniel, J. [US/US]; (US) (For US Only).
NAGORNY, Vladimir [US/US]; (US) (For US Only).
MOHN, Jonathan [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: ZUCKER, Martin, L.; (US).
DEVINE, Daniel, J.; (US).
NAGORNY, Vladimir; (US).
MOHN, Jonathan; (US)
Agent: CASSIDY, Timothy, A.; Dority & Manning, P.A. P.O. Box 1449 Greenville, South Carolina 29602-1449 (US)
Priority Data:
11/936,576 07.11.2007 US
Title (EN) WORKPIECE SUPPORT WITH FLUID ZONES FOR TEMPERATURE CONTROL
(FR) SUPPORT DE PIÈCE À USINER AYANT DES ZONES DE FLUIDE POUR RÉGULER LA TEMPÉRATURE
Abstract: front page image
(EN)A workpiece support is disclosed defining a workpiece-receiving surface. The workpiece support includes a plurality of fluid zones. A fluid, such as a gas, is fed to the fluid zones for contact with a workpiece on the workpiece support. The fluid can have selected thermoconductivity characteristics for controlling the temperature of the workpiece at particular locations. In accordance with the present disclosure, at least certain of the fluid zones are at different azimuthal positions. In this manner, the temperature of the workpiece can be adjusted not only in a radial direction but also in an angular direction.
(FR)L'invention concerne un support de pièce à usiner définissant une surface de réception de pièce. Le support de pièce à usiner comprend une pluralité de zones de fluide. Un fluide, tel qu'un gaz, est acheminé vers les zones de fluide pour venir en contact avec la pièce à usiner sur le support de pièce. Le fluide peut présenter des caractéristiques de conductivité thermique sélectionnées permettant de réguler la température de la pièce à usiner au niveau d'emplacements particuliers. Conformément à la présente description, au moins certaines des zones de fluide sont situées dans des positions azimutales différentes. De cette manière, la température de la pièce à usiner peut être réglée non seulement dans une direction radiale mais également dans une direction angulaire.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)