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1. (WO2009061579) DYNAMIC PATTERN GENERATOR WITH CUP-SHAPED STRUCTURE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/061579    International Application No.:    PCT/US2008/079332
Publication Date: 14.05.2009 International Filing Date: 09.10.2008
IPC:
H01L 21/027 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION [US/US]; 1 Technology Drive, Milpitas, California 95034 (US) (For All Designated States Except US).
GRELLA, Luca [IT/US]; (US) (For US Only).
BARANOV, Leonid [IL/US]; (US) (For US Only).
GOTKIS, Yehiel [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: GRELLA, Luca; (US).
BARANOV, Leonid; (US).
GOTKIS, Yehiel; (US)
Agent: OKAMOTO, James K; Okamoto & Benedicto Llp, P.o. Box 641330, San Jose, California 95164-1330 (US)
Priority Data:
11/983,069 07.11.2007 US
Title (EN) DYNAMIC PATTERN GENERATOR WITH CUP-SHAPED STRUCTURE
(FR) GÉNÉRATEUR DE MOTIF DYNAMIQUE AVEC UNE STRUCTURE CUPULIFORME
Abstract: front page image
(EN)One embodiment relates to a dynamic pattern generator (112) for reflection electron beam lithography which includes conductive pixel pads (902), an insulative border (906) surrounding each conductive pixel pad so as to electrically isolate the conductive pixel pads from each other, and conductive elements (908) coupled to the conductive pixel pads for controllably applying voltages to the conductive pixel pads. The conductive pixel pads are advantageously cup shaped with a bottom portion, a sidewall portion, and an open cavity (904). Another embodiment relates to a pattern generating apparatus which includes a well structure with sidewalls and a cavity configured above each conductive pixel pad (1210). The sidewalls may include alternating layers of conductive (1212, 1214, 1216) and insulative (1202, 1204, 1206) materials. Other embodiments, aspects and feature are also disclosed.
(FR)Un mode de réalisation de l'invention porte sur un générateur de motif dynamique (112) pour une lithographie par faisceau d'électrons en réflexion, qui inclut des pastilles de pixel conductrices (902), une bordure isolante (906) entourant chaque pastille de pixel conductrice de façon à isoler électriquement les pastilles de pixel conductrices les unes des autres, et des éléments conducteurs (908) couplés aux pastilles de pixel conductrices pour appliquer de façon commandée des tensions aux pastilles de pixel conductrices. Les pastilles de pixel conductrices sont avantageusement cupuliformes avec une partie de fond, une partie de paroi latérale et une cavité ouverte (904). Un autre mode de réalisation porte sur un appareil de génération de motif qui inclut une structure de puits avec des parois latérales et une cavité configurée au-dessus de chaque pastille de pixel conductrice (1210). Les parois latérales peuvent inclure des couches alternées de matériaux conducteurs (1212, 1214, 1216) et isolants (1202, 1204, 1206). L'invention porte également sur d'autres modes de réalisation, d'autres aspects et d'autres caractéristiques.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)