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1. (WO2009061438) METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING SURFACE SHAPE PROFILE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/061438    International Application No.:    PCT/US2008/012527
Publication Date: 14.05.2009 International Filing Date: 06.11.2008
IPC:
G01B 11/02 (2006.01), G01B 11/245 (2006.01)
Applicants: CHEN, Xin [US/US]; (US) (For US Only).
LIU, Anping [US/US]; (US) (For US Only).
ZHOU, Naiyue [CN/US]; (US) (For US Only).
CORNING INCORPORATED [US/US]; 1 Riverfront Plaza, Corning, New York 14831 (US) (For All Designated States Except US)
Inventors: CHEN, Xin; (US).
LIU, Anping; (US).
ZHOU, Naiyue; (US)
Agent: ABLE, Kevin M; Corning Incorporated, SP-TI-3-1, Intellectual Property Department, Corning, New York 14831 (US)
Priority Data:
11/983,464 09.11.2007 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING SURFACE SHAPE PROFILE
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR MESURER UN PROFIL DE FORME DE SURFACE
Abstract: front page image
(EN)An apparatus for measuring a shape profile of a surface of a sheet of material includes a light source for providing a light beam to be directed at the surface of the sheet of material, a linear translation stage coupled to the light source for translating the light source over the surface of the sheet of material such that the light beam, when directed at the surface, is incident on the surface at multiple positions and produces a reflected light beam at each of the multiple positions, a plurality of light receivers located at predetermined positions for selectively intercepting the reflected light beam produced at each of the multiple positions, a data acquisition device configured to receive information related to position difference between the light source and a selected one of the plurality of light receivers intercepting the reflected light beam produced at each of the multiple positions, and a data analysis device configured to correlate the position difference information to a shape profile of the surface of the sheet of material.
(FR)L'invention porte sur un appareil pour mesurer un profil de forme d'une surface d'une plaque de matériau, qui comprend une source de lumière pour amener un faisceau lumineux à être dirigé à la surface de la plaque de matériau, une platine à translation linéaire couplée à la source de lumière pour faire translater la source de lumière au-dessus de la surface de la plaque de matériau, de telle sorte que le faisceau de lumière, lorsqu'il est dirigé sur la surface, est incident sur la surface à de multiples positions et produit un faisceau lumineux réfléchi à chacune des multiples positions, une pluralité de récepteurs de lumière disposés à des positions prédéterminées pour intercepter de manière sélective le faisceau lumineux réfléchi produit à chacune des multiples positions, un dispositif d'acquisition de données configuré pour recevoir des informations relatives à la différence de position entre la source de lumière et un récepteur sélectionné parmi la pluralité de récepteurs de lumière interceptant le faisceau lumineux réfléchi produit à chacune des multiples positions, et un dispositif d'analyse de données configuré pour corréler les informations de différence de position à un profil de forme de la surface de la plaque de matériau.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)