WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2009060998) MOVABLE BODY APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/060998    International Application No.:    PCT/JP2008/070637
Publication Date: 14.05.2009 International Filing Date: 06.11.2008
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), G03F 9/00 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo, 1008331 (JP) (For All Designated States Except US).
KANAYA, Yuho [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KANAYA, Yuho; (JP)
Agent: TATEISHI, Atsuji; TATEISHI & CO., Karakida, Center Bldg., 1-53-9, Karakida, Tama-shi, Tokyo, 2060035 (JP)
Priority Data:
60/996,297 09.11.2007 US
12/264,450 04.11.2008 US
Title (EN) MOVABLE BODY APPARATUS
(FR) APPAREIL À CORPS MOBILE
Abstract: front page image
(EN)On the +X and -X sides of a projection unit (PU), a plurality of Z heads (76, 74) are arranged in parallel to the X-axis, by a distance (WD) half or less than half the effective width of a Y scale so that two Z heads each constantly form a pair and face a pair of Y scales (reflection surfaces) on a wafer stage. Of the pair of heads consisting of two Z heads which simultaneously face the Y scale, measurement values of a priority head is used, and when abnormality occurs in the measurement values of the priority head due to dust and the like adhering on the scale surface, measurement values of the other head is used, and the positional information of the wafer stage in at least the Z-axis direction is measured in a stable manner and with high precision.
(FR)Selon l'invention, sur les côtés +X et -X d'une unité de projection (PU), plusieurs têtes Z (76, 74) sont disposées en parallèle à l'axe X sur une distance (WD) correspondant à la moitié ou inférieure à la moitié de la largeur effective d'une échelle Y, si bien que deux têtes Z forment chacune en permanence une paire faisant face à une paire d'échelles Y (surfaces de réflexion) sur un étage de plaquette. En ce qui concerne la paire de têtes constituée de deux têtes Z qui font simultanément face à l'échelle Y, des valeurs de mesure d'une tête prioritaire sont utilisées et, lorsqu'une anomalie survient dans les valeurs de mesure de la tête prioritaire du fait de la poussière ou analogue adhérant à la surface de l'échelle, des valeurs de mesure de l'autre tête sont utilisées et des données de position de l'étage de plaquette dans au moins l'axe Z sont mesurées de manière stable et avec grande précision.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)