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Pub. No.:    WO/2009/060744    International Application No.:    PCT/JP2008/069454
Publication Date: 14.05.2009 International Filing Date: 27.10.2008
H01L 21/027 (2006.01), G02B 19/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku Tokyo 1008331 (JP) (For All Designated States Except US).
OWA, Soichi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TANITSU, Osamu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TANAKA, Hirohisa [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: OWA, Soichi; (JP).
TANITSU, Osamu; (JP).
TANAKA, Hirohisa; (JP)
Agent: OMORI, Satoshi; Omori Patent Office, 2075-2-501, Noborito, Tama-ku, Kawasaki-shi Kanagawa 2140014 (JP)
Priority Data:
2007-289089 06.11.2007 JP
(JA) 照明光学装置及び露光装置
Abstract: front page image
(EN)Provided is an illumination optical device which can maintain a high use efficiency of a pulse-emitted illumination light and reduce the affect of luminance irregularities caused by the spatial coherency of the illumination light without complicating the device configuration. An illumination optical system (ILS) illuminates a plane to be illuminated by using pulse-emitted illumination light (IL). The illumination optical system (ILS) includes: a spatial light modulator (13) having a plurality of mirror elements (3) which applies a spatial modulation to the illumination light (IL) in accordance with the position where the illumination light (IL) is inputted; and a modulation control unit (31) which applies different spatial modulations to the illumination light (IL) by the mirror elements (3) so that each time at least one pulse of the illumination light (IL) is emitted, the intensity distribution of the illumination light (IL) is substantially uniform on a predetermined plane.
(FR)Dispositif optique d'éclairage permettant de maintenir à un niveau d'efficacité d'utilisation élevée une lumière d'éclairage pulsée et d'atténuer les effets des irrégularités de luminance provoqués par la cohérence spatiale de la lumière d'éclairage, sans compliquer l'agencement du dispositif. Un système optique d'éclairage (ILS) éclaire un plan à éclairer au moyen d'une lumière d'éclairage pulsée. Le dispositif ILS comprend: un modulateur spatial de lumière (13) à plusieurs éléments de miroir (3) qui applique une modulation spatiale à la lumière d'éclairage conformément à la position d'entrée de la lumière d'éclairage (IL), et une unité de commande de modulation (31) qui applique des modulations spatiales différentes à la lumière d'éclairage au moyen des éléments de miroir (3) de sorte qu'à chaque pulsation de lumière d'éclairage émise, la répartition d'intension de cette lumière est sensiblement uniforme sur un plan prédéterminé.
(JA) パルス発光される照明光の利用効率を高く維持して、構成を複雑化することなく、照明光の空間コヒーレンシィに起因する照度むらの影響を軽減できる照明光学装置である。パルス発光される照明光(IL)を用いて被照射面を照明する照明光学系(ILS)であって、照明光(IL)の入射する位置に応じて照明光(IL)に空間的な変調を与える複数のミラー要素(3)を含む空間光変調器(13)と、照明光(IL)が少なくとも一つパルス発光される毎に、照明光(IL)のそれぞれの強度分布が所定面において実質的にほぼ同じ強度分布になるように、複数のミラー要素(3)によって照明光(IL)に互いに異なる空間的な変調を与える変調制御部(31)とを備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)