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1. (WO2009060562) WIRE SAW APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/060562    International Application No.:    PCT/JP2008/002915
Publication Date: 14.05.2009 International Filing Date: 15.10.2008
IPC:
B24B 27/06 (2006.01), B28D 5/04 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Applicants: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. [JP/JP]; 6-2, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP) (For All Designated States Except US).
KITAGAWA, Koji [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: KITAGAWA, Koji; (JP)
Agent: YOSHIMIYA, Mikio; 1st Shitaya Bldg. 8F 6-11, Ueno 7-chome Taito-ku Tokyo 1100005 (JP)
Priority Data:
2007-290834 08.11.2007 JP
Title (EN) WIRE SAW APPARATUS
(FR) APPAREIL DE SCIE À FIL
(JA) ワイヤソー装置
Abstract: front page image
(EN)Provided is a wire saw apparatus comprising a wire made to run on a plurality of grooved rollers for running reciprocally in an axial direction, a nozzle for feeding slurry, and a work feeding mechanism for feeding a work to the wire while holding it. The wire saw apparatus feeds the work by pushing it onto the reciprocally running wire while feeding the wire with the slurry from the nozzle, thereby to cut the work into a wafer shape. In the wire saw apparatus, a work holding portion of the work feeding mechanism holds the work through an application plate adhered to the work and a work plate, and plate- or block-shaped slurry splash preventing members for preventing the slurry from splashing from the wire cut-in portion of the work are arranged in the direction orthogonal to the wire lines below the work holding portion and on the two wire cut-in and cut-out sides. Thus, the wire saw apparatus can suppress the wok from meandering, as might otherwise be caused by the slurry splashed from the wire cut-in portion of the work, so that the wafer to be cut can be improved in the warp.
(FR)L'invention concerne un appareil de scie à fil comprenant un fil amené à circuler sur une pluralité de rouleaux rainurés pour circuler selon un mouvement de va-et-vient dans une direction axiale, une buse d'injection pour l'alimentation en pâte, et un mécanisme d'alimentation en pièces à traiter pour amener une pièce à traiter sur le fil tout en la maintenant. L'appareil de scie à fil amène la pièce à traiter en la poussant sur le fil circulant selon un mouvement de va-et-vient tout en amenant le fil avec la pâte distribuée par la buse d'injection, pour ainsi découper la pièce à traiter en tranche. Dans l'appareil de scie à fil, une partie de support de pièce à traiter du mécanisme d'alimentation en pièces à traiter maintient la pièce à traiter sur un plateau d'application collé à la pièce à traiter et un plateau porte-pièces, et des éléments permettant d'éviter les éclaboussures de pâte, présentant une forme de blocs ou de plateaux et permettant d'éviter les éclaboussures de pâte depuis la partie de découpe par le fil de la pièce à traiter, sont disposés dans la direction orthogonale aux lignes de fil sous la partie de support de pièce à traiter et sur le côté de découpe par le fil et le côté découpé par le fil. Ainsi, l'appareil de scie à fil permet d'empêcher que la pièce à traiter ne serpente, comme cela peut par exemple arriver en cas d'éclaboussures de pâte depuis la partie de découpe par le fil de la pièce à traiter, de sorte que le gauchissement de la tranche devant être découpée puisse être amélioré.
(JA) 本発明は、複数の溝付きローラに巻掛けされ、軸方向に往復走行するワイヤと、スラリを供給するノズルと、ワークを保持しつつワイヤへ送るワーク送り機構を具備し、ノズルからワイヤにスラリを供給しつつ、ワークを往復走行するワイヤに押し当てて送り、ウエーハ状に切断するワイヤソー装置であって、ワーク送り機構のワーク保持部は、ワークに接着されている当て板とワークプレートを介してワークを保持するものであり、ワークのワイヤの切入り部から飛散するスラリを防ぐための板状またはブロック状のスラリ飛散防止部材が、ワーク保持部の下方かつワイヤがワークに切入る側と切出す側の両側に、ワイヤ列と直行方向に配設されたものであるワイヤソー装置を提供する。これにより、ワークのワイヤの切入り部から飛散するスラリを原因としてワークが蛇腹運動するのを抑制し、切断されるウエーハのWarpを改善することが可能なワイヤソー装置が提供される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)