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1. (WO2009059807) METHOD FOR DEPOSITING ELECTRICALLY INSULATING LAYERS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/059807    International Application No.:    PCT/EP2008/052521
Publication Date: 14.05.2009 International Filing Date: 29.02.2008
IPC:
H01J 37/32 (2006.01), C23C 14/32 (2006.01)
Applicants: OERLIKON TRADING AG, TRÜBBACH [CH/CH]; c/o OC Oerlikon Balzers AG, Hauptstrasse, CH-9477 Trübbach (CH) (For All Designated States Except US).
RAMM, Jürgen [DE/CH]; (CH) (For US Only).
WOHLRAB, Christian [AT/AT]; (AT) (For US Only)
Inventors: RAMM, Jürgen; (CH).
WOHLRAB, Christian; (AT)
Agent: TROESCH SCHEIDEGGER WERNER AG; Jacques Troesch, Schwaentenmos 14, CH-8126 Zumikon (CH)
Priority Data:
11/937,071 08.11.2007 US
Title (DE) VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN ELEKTRISCH ISOLIERENDER SCHICHTEN
(EN) METHOD FOR DEPOSITING ELECTRICALLY INSULATING LAYERS
(FR) PROCÉDÉ DE SÉPARATION DE COUCHES ÉLECTRIQUEMENT ISOLANTES
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben einer Arcquelle, wobei eine elektrische Funkenentladung auf einer Oberfläche eines Targets (5) gezündet bzw. betrieben wird, und die Funkenentladung gleichzeitig mit einem Gleichstrom, dem eine Gleichspannung DV zugeordnet ist, als auch mit einem durch ein periodisch angelegtes Spannungs Signal erzeugten Pulsstrom gespeist wird. Dabei wird die Spannung an der Arcquelle über mehrere MikroSekunden erhöht bzw. die Signalform des Spannungsignals im Wesentlichen frei einstellbar.
(EN)The invention relates to a method for operating an arc source, wherein an electric spark discharge is ignited or operated on a surface of a target (5) and the spark discharge is simultaneously supplied with a direct current, with which a direct voltage is associated, and with a pulse current generated by a periodically applied voltage signal. The voltage is increased at the arc source for several microseconds, or the signal wave form of the voltage signal is substantially freely adjustable.
(FR)La présente invention concerne un procédé destiné à faire fonctionner une source d'arc, une décharge d'étincelles électriques étant déclenchée et/ou actionnée sur une surface d'une cible (5). La décharge d'étincelles est alimentée simultanément avec un courant continu auquel est associée une tension continue DV, ainsi qu'avec un courant d'impulsion produit par un signal de tension périodique. Ainsi, la tension sur la source d'arc est augmentée de plusieurs microsecondes et/ou la forme de signal du signal de tension est essentiellement librement réglable.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)