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1. (WO2009058562) METHOD AND APPARATUS FOR SEALING AN OPENING OF A PROCESSING CHAMBER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/058562    International Application No.:    PCT/US2008/079957
Publication Date: 07.05.2009 International Filing Date: 15.10.2008
IPC:
C23C 16/00 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue, Santa Clara, California 95054 (US) (For All Designated States Except US).
KURITA, Shinichi [JP/US]; (US) (For US Only).
MATSUMOTO, Takayuki [JP/US]; (US) (For US Only).
TINER, Robin, L. [US/US]; (US) (For US Only).
WHITE, John, M. [US/US]; (US) (For US Only).
ANWAR, Suhail [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: KURITA, Shinichi; (US).
MATSUMOTO, Takayuki; (US).
TINER, Robin, L.; (US).
WHITE, John, M.; (US).
ANWAR, Suhail; (US)
Agent: PATTERSON, Todd, B.; Patterson & Sheridan, L.L.P., 3040 Post Oak Blvd., Suite 1500, Houston, Texas 77056-6582 (US)
Priority Data:
60/984,478 01.11.2007 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR SEALING AN OPENING OF A PROCESSING CHAMBER
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR SCELLER DE FAÇON ÉTANCHE UNE OUVERTURE D'UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT
Abstract: front page image
(EN)A method and apparatus for sealing an opening of a processing chamber are provided. In one embodiment, the invention generally provides a closure member integrated within a wall of a process chamber for sealing an opening within the wall of the chamber. In another embodiment, the invention provides a closure member configured to seal an opening in the wall of a processing chamber from the inside of the chamber.
(FR)L'invention porte sur un procédé et sur un appareil pour sceller de façon étanche une ouverture d'une chambre de traitement. Dans un mode de réalisation, l'invention porte d'une manière générale sur un élément de fermeture intégré à l'intérieur d'une paroi d'une chambre de traitement pour sceller de façon étanche une ouverture à l'intérieur de la paroi de la chambre. Dans un autre mode de réalisation, l'invention porte sur un élément de fermeture configuré pour sceller de façon étanche une ouverture dans la paroi d'une chambre de traitement à partir de l'intérieur de la chambre.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)