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1. (WO2009057671) RECTIFIER AND PROCESS FOR PRODUCING THE RECTIFIER
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/057671    International Application No.:    PCT/JP2008/069710
Publication Date: 07.05.2009 International Filing Date: 30.10.2008
IPC:
H01L 29/66 (2006.01), H01L 29/47 (2006.01), H01L 29/86 (2006.01), H01L 29/872 (2006.01)
Applicants: NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY [JP/JP]; 3-1, Kasumigaseki 1-chome, Chiyoda-ku Tokyo 1008921 (JP) (For All Designated States Except US).
SHIMA, Hisashi [JP/JP]; (JP) (For US Only).
AKINAGA, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ISHIBASHI, Shoji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
TAMURA, Tomoyuki [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SHIMA, Hisashi; (JP).
AKINAGA, Hiroyuki; (JP).
ISHIBASHI, Shoji; (JP).
TAMURA, Tomoyuki; (JP)
Priority Data:
2007-281740 30.10.2007 JP
2008-275222 27.10.2008 JP
Title (EN) RECTIFIER AND PROCESS FOR PRODUCING THE RECTIFIER
(FR) REDRESSEUR ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION
(JA) 整流素子及びその製造方法
Abstract: front page image
(EN)This invention provides a rectifier comprising a titanium oxide layer interposed between first and second electrodes formed of a transition metal having an electronegativity larger than Ti. In the titanium oxide layer, only the interface on a side, which faces any one of the electrodes, has a fixed ratio composition, and the average composition of the whole layer is represented by TiOx, wherein x satisfies a relationship of 1.6 ≤ x < 2. The rectifying characteristics are reversed by applying a reversing electric signal exceeding a critical reversing electric power between the first and second electrodes in an opposite direction. There is also provided a process for producing a rectifier, comprising the step of depositing a first electrode formed of a transition metal having an electronegativity larger than Ti on a substrate, the step of depositing a layer of titanium oxide (TiOx) on the first electrode, provided that x satisfies a relationship of 1.6 ≤ x < 2, the step of exposing the surface of the titanium oxide (TiOx) layer to the oxygen atmosphere, and the step of depositing a second electrode formed of a transition metal having an electronegativity larger than Ti on the surface of the titanium oxide (TiOx) layer exposed to the oxygen atmosphere.
(FR)L'invention concerne un redresseur comprenant une couche d'oxyde de titane interposée entre des première et seconde électrodes formées d'un métal de transition ayant une électronégativité supérieure à Ti. Dans la couche d'oxyde de titane, seule l'interface sur un côté, qui fait face à l'une quelconque des électrodes, comporte une composition à rapport fixe, et la composition moyenne de la couche entière est représentée par TiOx, x satisfaisant la relation 1,6 ≤ x < 2. Les caractéristiques de redressement sont inversées par l'application d'un signal électrique inversé dépassant une puissance électrique inversée critique entre les première et seconde électrodes dans une direction opposée. L'invention concerne également un procédé de production d'un redresseur, comprenant l'étape de dépôt d'une première électrode formée d'un métal de transition ayant une électronégativité supérieure à Ti sur un substrat, l'étape de dépôt d'une couche d'oxyde de titane (TiOx) sur la première électrode, à condition que x satisfasse la relation 1,6 ≤ x < 2, l'étape d'exposition de la surface de la couche d'oxyde de titane (TiOx) à l'atmosphère d'oxygène, et l'étape de dépôt d'une seconde électrode formée d'un métal de transition ayant une électronégativité supérieure à Ti sur la surface de la couche d'oxyde de titane (TiOx) exposée à l'atmosphère d'oxygène.
(JA) 電気陰性度がTiよりも大きい遷移金属からなる第1及び第2電極の間に、何れか一方の電極に面する側の界面のみが定比組成であり、層全体の平均組成がTiOx(但し、式中xは、1.6≦x<2の関係を満たすものに限る。)の式で表される、酸化チタン層が介在し、該第1電極及び第2電極の間に臨界反転電力を超える大きさの反転電気信号を逆方向に印加することによって整流特性を反転できる整流素子並びに、基板上に、電気陰性度がTiよりも大きい遷移金属からなる第1電極を堆積させる工程、該第1電極上に酸化チタン(TiOx(但し、式中xは、1.6≦x<2の関係を満たすものに限る。))層を堆積させる工程、該酸化チタン(TiOx)層の表面を酸素雰囲気に曝露する工程及び該酸素雰囲気に曝露された酸化チタン(TiOx)層の表面上に電気陰性度がTiよりも大きい遷移金属からなる第2電極を堆積させる工程を含む整流素子の製造方法。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)