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1. (WO2009057535) METHOD FOR INSPECTING ELECTROMECHANICAL CHARACTERISTIC OF ELECTROMECHANICAL CONVERSION ELEMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/057535    International Application No.:    PCT/JP2008/069399
Publication Date: 07.05.2009 International Filing Date: 21.10.2008
IPC:
G01R 29/22 (2006.01), H01L 41/09 (2006.01)
Applicants: NGK INSULATORS, LTD. [JP/JP]; 2-56, Suda-cho Mizuho-ku Nagoya-shi Aichi 4678530 (JP) (For All Designated States Except US).
TANI, Makoto [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: TANI, Makoto; (JP)
Agent: PROSPEC PATENT FIRM; 12th Floor, NAGOYA-KS Building 1-18, Taiko 3-chome Nakamura-ku, Nagoya-shi Aichi 4530801 (JP)
Priority Data:
2007-281625 30.10.2007 JP
Title (EN) METHOD FOR INSPECTING ELECTROMECHANICAL CHARACTERISTIC OF ELECTROMECHANICAL CONVERSION ELEMENT
(FR) PROCÉDÉ D'EXAMEN D'UNE CARACTÉRISTIQUE ÉLECTROMÉCANIQUE D'UN ÉLÉMENT DE CONVERSION ÉLECTROMÉCANIQUE
(JA) 電気機械変換素子の電気機械特性検査方法
Abstract: front page image
(EN)Provided is a method for inspecting electromechanical characteristic of an electromechanical conversion element which measures frequency characteristic data on AC admittance of an electromechanical conversion element such as a piezoelectric element and acquires “a maximum electric characteristic value Amax at the element resonance frequency (such as a peak value Gmax of AC conductance G, a difference between a maximum value Bmax of AC susceptance B and a minimum value Bmin, and a diameter 1/R1 of AC admittance circle)” and “a resonance sharpness Q”. “The obtained peak value Amax of the electric characteristic value” is divided by “the obtained resonance sharpness Q” to obtain a value (Amax/Q) which is used for inspecting the electromechanical characteristic of the electromechanical conversion element.
(FR)La présente invention concerne un procédé d'examen d'une caractéristique électromécanique d'un élément de conversion électromécanique qui mesure des données de caractéristique de fréquence sur une admittance en courant alternatif (CA) d'un élément de conversion électromécanique tel qu'un élément piézoélectrique et acquiert 'une valeur de caractéristique électrique maximale Amax à la fréquence de résonance de l'élément (telle qu'une valeur de crête Gmax de la conductance G en CA, une différence entre une valeur maximale Bmax de la susceptance B en CA et une valeur minimale Bmin, et un diamètre 1/R1 du cercle d'admittance en CA)' et 'une netteté de résonance Q'. 'La valeur de crête obtenue (Amax) de la valeur de caractéristique électrique' est divisée par 'la netteté de résonance obtenue Q' pour obtenir une valeur (Amax/Q) qui est utilisée pour examiner la caractéristique électromécanique de l'élément de conversion électromécanique.
(JA)この電気機械変換素子の電気機械特性検査方法は、圧電素子等の電気機械変換素子の交流アドミッタンスの周波数特性データを測定し、測定された交流アドミッタンスの周波数特性データに基づいて「素子の共振周波数において最大となる電気的特性値Amax(例えば、交流コンダクタンスGのピーク値Gmax、交流サセプタンスBの最大値Bmaxと最小値Bminとの差、及び、交流アドミッタンス円の直径1/R1等)」と「共振先鋭度Q」とを求め、「求めた電気的特性値のピーク値Amax」を「求めた共振先鋭度Q」で除算した値(Amax/Q)を電気機械変換素子の電気機械特性検査に用いる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)