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1. (WO2009057265) TRANSFER DEVICE AND TRANSFER METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/057265    International Application No.:    PCT/JP2008/003023
Publication Date: 07.05.2009 International Filing Date: 24.10.2008
IPC:
G11B 7/26 (2006.01), B29C 59/02 (2006.01)
Applicants: SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION [JP/JP]; 5-1, Kasama 2-chome, Sakae-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2478610 (JP) (For All Designated States Except US).
NARITA, Haruka [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: NARITA, Haruka; (JP)
Agent: KIUCHI, Mitsuharu; 5th Floor, Toranomon-Yoshiara Bldg. 6-13, Nishi-Shinbashi 1-chome Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
Priority Data:
2007-281973 30.10.2007 JP
Title (EN) TRANSFER DEVICE AND TRANSFER METHOD
(FR) DISPOSITIF DE TRANSFERT ET PROCÉDÉ DE TRANSFERT
(JA) 転写装置及び転写方法
Abstract: front page image
(EN)A transfer device and method enabling uniform resin coating and formation of multilayer recording surface at low cost and at high efficiency with a simple structure. The transfer device is used for transferring the projections/recesses of a stamper (S) onto a resin (R) on a base (P). The device comprises first and second coaters (22A, 22B) for coating the base (P) with resin (R), first and second press units (33A, 33B) for pressing the stamper (S) against the resin (R), curing the resin (R) by application of an ultraviolet pulse, and first and second sputtering units (12A, 12B) for forming a reflective film on the resin (R) to which the projections/recesses are transferred. The first coater (22A) has an application unit (25) for spot application of ultraviolet radiation, and the second coater (22B) has an application unit (26) for overall application of ultraviolet radiation.
(FR)La présente invention concerne un dispositif et un procédé de transfert permettant un revêtement de résine uniforme et la formation d'une surface d'enregistrement multicouche à un prix faible et à un rendement élevé avec une structure simple. Le dispositif de transfert est utilisé pour transférer les projections/cavités d'une matrice (S) sur une résine (R) sur une base (P). Le dispositif comporte des premier et second dispositifs de revêtement (22A, 22B) pour revêtir la base (P) d'une résine (R), des première et seconde unités de presse (33A, 33B) pour presser la matrice (S) contre la résine (R), durcir la résine (R) par application d'une impulsion ultraviolette, et des première et seconde unités de pulvérisation cathodique (12A, 12B) pour former un film réfléchissant sur la résine (R) à laquelle les projections/cavités sont transférées. Le premier dispositif de revêtement (22A) comporte une unité d'application (25) pour une application ponctuelle d'un rayonnement ultraviolet, et le second dispositif de revêtement (22B) comporte une unité d'application (26) pour une application globale d'un rayonnement ultraviolet.
(JA)簡易な構造により、均一な樹脂の塗布や記録面の多層化を低コストで効率良く行うことができる転写装置及び転写方法を提供する。基板P上の樹脂RにスタンパSの凹凸を転写する転写装置であって、基板Pに樹脂Rを塗布する第1の塗布装置22A及び第2の塗布装置22Bと、樹脂RにスタンパSを押圧して、紫外線のパルス照射により硬化させた後にスタンパを剥離させる第1の押圧装置33A及び第2の押圧装置33Bと、凹凸が転写された樹脂Rに反射膜を形成する第1のスパッタ装置12A及び第2のスパッタ装置12Bを有する。第1の塗布装置22Aは紫外線をスポット照射する照射装置25を有し、第2の塗布装置22Bは紫外線を全面照射する照射装置26を有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)