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1. (WO2009056615) LIGHT-BLOCKING LAYER SEQUENCE HAVING ONE OR MORE METAL LAYERS FOR AN INTEGRATED CIRCUIT AND METHOD FOR THE PRODUCTION OF THE LAYER SEQUENCE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/056615    International Application No.:    PCT/EP2008/064760
Publication Date: 07.05.2009 International Filing Date: 30.10.2008
IPC:
H01L 27/146 (2006.01), H01L 31/0216 (2006.01), H01L 31/0236 (2006.01), H01L 27/148 (2006.01)
Applicants: X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES AG [DE/DE]; Haarbergstrasse 67 99097 Erfurt (DE) (For All Designated States Except US).
GAEBLER, Daniel [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: GAEBLER, Daniel; (DE)
Agent: LEONHARD, Reimund; Leonhard Olgemoeller Fricke Postfach 10 09 62 80083 Muenchen (DE)
Priority Data:
10 2007 051 752.3 30.10.2007 DE
Title (DE) LICHT BLOCKIERENDE SCHICHTENFOLGE MIT EINEM ODER FÜR EINEN INTEGRIERTEN SCHALTKREIS UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DER SCHICHTENFOLGE
(EN) LIGHT-BLOCKING LAYER SEQUENCE HAVING ONE OR MORE METAL LAYERS FOR AN INTEGRATED CIRCUIT AND METHOD FOR THE PRODUCTION OF THE LAYER SEQUENCE
(FR) SUCCESSION DE COUCHES BLOQUANT LA LUMIÈRE ÉQUIPÉE D'UN CIRCUIT INTÉGRÉ OU POUR UN CIRCUIT INTÉGRÉ ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE LA SUCCESSION DE COUCHES
Abstract: front page image
(DE)In einem integrierten Schaltkreis wird ein lichtempfindlicher Bereich vor Strahlung geschützt, indem eine Licht blockierende Schichtenfolge (504) über dem lichtempfindlichen Bereich angeordnet wird. Die Licht blockierende Schichtenfolge weist eine oder mehrere Metallschichten (504a) und eine Siliziumschicht (503b,1) zur Absorption auf. Auf der Siliziumschicht ist eine Mottenaugenstruktur (504c) vorgesehen. Dadurch wird eine Reflexion der eintreffenden Strahlung so minimiert, dass auch Streulicht wirksam von dem lichtempfindlichen Bereich unter der Licht blockierende Schichtenfolge (504) abgehalten werden kann.
(EN)In an integrated circuit, a light-sensitive area is protected from radiation, in that a light-blocking layer sequence (504) is disposed above the light-sensitive area. The light-blocking layer sequence has one or more metal layers (504a) and a silicon layer (503b, 1) for absorption. A moth-eye structure (504c) is provided on the silicon layer. A reflection of the incident radiation is thus minimized so that diffused light can also be effectively kept away from the light-sensitive area below the light-blocking layer sequence (504).
(FR)La présente invention concerne un circuit intégré dans lequel une zone photosensible est protégée des rayonnements, car une succession de couches (504) bloquant la lumière est disposée sur la zone photosensible. La succession de couches bloquant la lumière comporte une ou plusieurs couches métalliques (504a) et une couche de silicium (503b, 1) pour l'absorption. On a prévu une structure antireflet (504c) sur la couche de silicium. Cela permet ainsi de réduire la réflexion des rayonnements entrants, de telle sorte qu'il soit également possible d'éloigner efficacement la lumière diffuse de la zone photosensible, sous la succession de couches (504) bloquant la lumière.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)