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1. (WO2009056606) TURBOMOLECULAR PUMP
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/056606    International Application No.:    PCT/EP2008/064747
Publication Date: 07.05.2009 International Filing Date: 30.10.2008
IPC:
F04D 19/04 (2006.01), F04D 27/02 (2006.01)
Applicants: OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH [DE/DE]; Bonner Str. 498, 50968 Köln (DE) (For All Designated States Except US).
ENGLÄNDER, Heinrich [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: ENGLÄNDER, Heinrich; (DE)
Agent: SELTING, Günther; Patentanwälte, von Kreisler Selting Werner, Bahnhofsvorplatz 1, Deichmannhaus am Dom, 50667 Köln (DE)
Priority Data:
10 2007 051 988.7 31.10.2007 DE
Title (DE) TURBOMOLEKULARPUMPE
(EN) TURBOMOLECULAR PUMP
(FR) POMPE TURBOMOLÉCULAIRE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf eine Turbomolekularpumpe (10) mit einem Pumpen-Gehäuse (14) und mehreren separaten Statorflügel-Ringscheiben (16), die zusammen ein Ringscheiben-Paket (18) bilden. Unmittelbar zwischen dem Ringscheiben-Paket (18) und dem Pumpen-Gehäuse (14) ist eine zylindrische Reibungsbuchse (20) angeordnet. Axial zwischen dem Ringscheiben-Paket (18) und dem Pumpen-Gehäuse (14) ist ein Axialspalt (22) vorgesehen, so dass das Ringscheiben-Paket (18) drehbar ist.
(EN)The invention relates to a turbomolecular pump (10) having a pump housing (14) and multiple separate stator blade ring discs (16), which form a ring disc packet (18) together. A cylindrical friction bush (20) is disposed directly between the ring disc packet (18) and the pump housing (14). An axial gap (22) is provided axially between the ring disc packet (18) and the pump housing (14), so the ring disc packet (18) can be rotated.
(FR)La présente invention a pour objet une pompe turbomoléculaire (10) équipée d'un carter de pompe (14) et de plusieurs disques annulaires-aubes de stator (16), qui forment ensemble un groupe de disques annulaires (18). Directement entre le groupe de disques annulaires (18) et le carter de pompe (14), une bague de frottement cylindrique (20) est agencée. Une fente axiale (22) est prévue axialement entre le groupe de disques annulaires (18) et le carter de pompe (14), de manière à ce que le groupe de disques annulaires (18) puisse tourner.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)