WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2009056564) DEVICE AND METHOD FOR CRYSTAL ORIENTATION MEASUREMENT BY MEANS OF ION-BLOCKING PATTERN AND A FOCUSED ION PROBE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/056564    International Application No.:    PCT/EP2008/064670
Publication Date: 07.05.2009 International Filing Date: 29.10.2008
IPC:
G01N 23/04 (2006.01), H01J 37/08 (2006.01)
Applicants: SCHWARZER, Robert [DE/DE]; (DE)
Inventors: SCHWARZER, Robert; (DE)
Priority Data:
10 2007 052 794.4 02.11.2007 DE
Title (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR KRISTALLORIENTIERUNGSMESSUNG MITTELS IONEN-BLOCKING-PATTERN UND EINER FOKUSSIERTEN IONENSONDE
(EN) DEVICE AND METHOD FOR CRYSTAL ORIENTATION MEASUREMENT BY MEANS OF ION-BLOCKING PATTERN AND A FOCUSED ION PROBE
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ POUR MESURER L'ORIENTATION DES CRISTAUX GRÂCE À UNE CONFIGURATION DE BLOCAGE D'IONS ET À UNE SONDE IONIQUE FOCALISÉE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Kristallorientierungsmessung, umfassend eine lonenquelle (42); Mittel (44) zum Fokussieren von der lonenquelle abgegebener Ionen zu einer lonensonde; und Mittel (18) zur Aufnahme einer kristallinen oder vielkristallinen Probe (16), gekennzeichnet durch einen abbildenden Ionen-Detektor (12) zur Registrierung mindestens eines lonen-Blocking-Pattern (26) in digitaler Form. Die Erfindung betrifft ferner die Verwendung einer Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche zur Kristallorientierungsmessung. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Kristallorientierungsmessung, umfassend Fokussieren von einer lonenquelle (42) abgegebener Ionen zu einer lonensonde; Richten der lonensonde auf eine kristalline oder vielkristalline Probe (16); und Registrieren mindestens eines lonen-Blocking-Pattern (26) in digitaler Form mit Hilfe eines abbildenden Ionen-Detektors (12).
(EN)The invention relates to a device for crystal orientation measurement, comprising an ion source (42); means (44) for focusing ions emitted from the ion source into an ion probe; and means (18) for receiving a crystalline or multicrystalline sample (16), characterized by an imaging ion detector (12) for registering at least one ion blocking pattern (26) in digital form. The invention further relates to the use of a device according to one of the preceding claims for crystal orientation measurement. The invention further relates to a method for crystal orientation measurement, comprising the focusing of ions emitted from an ion source (42) into an ion probe; directing the ion probe onto a crystalline or multicrystalline sample (16); and registering at least one ion blocking pattern (26) in digital form with the aid of an imaging ion detector (12).
(FR)L'invention se rapporte à un dispositif pour mesurer l'orientation des cristaux qui comprend une source d'ions (42), des moyens (44) pour focaliser les ions délivrés par la source d'ions en une sonde ionique, et des moyens (18) pour recevoir un échantillon cristallin ou polycristallin (16), caractérisé par un détecteur (12) d'accumulation d'ions pour enregistrer au moins une configuration de blocage des ions (26) sous forme numérique. L'invention se rapporte en outre à l'utilisation d'un dispositif selon l'une des revendications précédentes pour mesurer l'orientation des cristaux. L'invention se rapporte également à un procédé pour mesurer l'orientation des cristaux comprenant la focalisation d'ions délivrés par une source d'ions (42) en une sonde ionique, l'orientation de la sonde ionique sur un échantillon cristallin ou polycristallin (16), et l'enregistrement d'au moins une configuration de blocage des ions (26) sous forme numérique à l'aide d'un détecteur (12) d'accumulation d'ions.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)