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1. (WO2009056152) METHOD FOR TREATING SPENT ABRASIVE SLURRY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2009/056152    International Application No.:    PCT/EP2007/009405
Publication Date: 07.05.2009 International Filing Date: 30.10.2007
IPC:
C10M 175/00 (2006.01), B24B 57/00 (2006.01)
Applicants: PALL CORPORATION [US/US]; 2200 Northern Boulevard, East Hills, NY 11548 (US) (For All Designated States Except US).
BERNDT, Rolf [DE/DE]; (DE) (For US Only).
RUTH, Jochen [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: BERNDT, Rolf; (DE).
RUTH, Jochen; (DE)
Agent: WÖSSNER, Gottfried; Hoeger, Stellrecht & Partner, Uhlandstrasse 14c, 70182 Stuttgart (DE)
Priority Data:
Title (EN) METHOD FOR TREATING SPENT ABRASIVE SLURRY
(FR) PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'UNE BOUE ABRASIVE APRÈS USAGE
Abstract: front page image
(EN)The present invention relates to a method and a system for treating spent abrasive slurry obtained from a process for cutting a body of a substrate material into wafer-like slices, said slurry comprising a lubricant fluid, unspent abrasive particles and fines. The method comprises separating the spent slurry in a first sedimentation step into a solids concentrate comprising unspent abrasive particles and a solids depleted slurry; and subsequently separating the solids depleted slurry by cross-flow filtration into a fines containing fraction and a solids and fines depleted regenerated lubricant fluid. The corresponding system comprises a first sedimentation device having an inlet for spent abrasive slurry, a sedimentation unit, a first outlet for discharging a solids concentrate and a second outlet for discharging a solids depleted slurry from said sedimentation unit; a cross-flow filtration device having an inlet for said solids depleted slurry in fluid communication with said second outlet of said sedimentation device, a first outlet for discharging a fines containing fraction and a second outlet for discharging a solids and fines depleted regenerated lubricant fluid from said cross-flow filtration device; and a conduit means providing fluid communication between said second outlet of said first sedimentation device and said inlet of said cross-flow filtration device.
(FR)Cette invention concerne un procédé et un système permettant de traiter une boue abrasive après usage, dérivée d'un processus de découpe en tranches d'un corps de matériau de substrat, ladite boue comprenant un fluide lubrifiant, des particules abrasives non utilisées et des fines. Le procédé consiste à séparer la boue après usage lors d'une première étape de sédimentation en un concentré de solides comprenant des particules abrasives non utilisées et une boue appauvrie en solides; à séparer ensuite la boue appauvrie en solides par filtration tangentielle en une fraction contenant des fines et un fluide lubrifiant régénéré appauvri en solides et en fines. Le système correspondant comprend un premier dispositif de sédimentation comportant une admission pour la boue abrasive après usage, une unité de sédimentation, une première sortie pour évacuer un concentré de solides et une seconde sortie pour évacuer une boue appauvrie en solides de ladite unité de sédimentation; un dispositif de filtration tangentielle comportant une admission pour ladite boue appauvrie en solides en communication fluidique avec la sortie dudit dispositif de sédimentation, une première sortie pour évacuer une fraction contenant des fines et une seconde sortie pour évacuer un fluide lubrifiant régénéré appauvri en solides et en fines dudit dispositif de filtration tangentielle; et un conduit assurant une communication fluidique entre la sortie dudit premier dispositif de sédimentation et ladite admission dudit dispositif de filtration tangentielle.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)