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1. (WO2008102616) CLEANING SHEET, CONVEYING MEMBER HAVING CLEANING FUNCTION, AND METHOD FOR CLEANING OF SUBSTRATE-PROCESSING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2008/102616    International Application No.:    PCT/JP2008/051335
Publication Date: 28.08.2008 International Filing Date: 30.01.2008
IPC:
B08B 1/00 (2006.01), C09J 7/02 (2006.01), C09J 11/04 (2006.01), C09J 201/00 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: NITTO DENKO CORPORATION [JP/JP]; 1-1-2, Shimohozumi, Ibaraki-shi, Osaka 5678680 (JP) (For All Designated States Except US).
SHOUJI, Akira [JP/JP]; (JP) (For US Only).
MURATA, Akihisa [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SHOUJI, Akira; (JP).
MURATA, Akihisa; (JP)
Agent: UNIUS PATENT ATTORNEYS OFFICE; SHIN-OSAKA MT Bldg. 1 13-9, Nishinakajima 5-chome Yodogawa-ku, Osaka-shi, Osaka 5320011 (JP)
Priority Data:
2007-039631 20.02.2007 JP
Title (EN) CLEANING SHEET, CONVEYING MEMBER HAVING CLEANING FUNCTION, AND METHOD FOR CLEANING OF SUBSTRATE-PROCESSING APPARATUS
(FR) FEUILLE DE NETTOYAGE, ÉLÉMENT DE TRANSPORT DOTÉ D'UNE FONCTION DE NETTOYAGE ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE D'UN APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRATS
(JA) クリーニングシート、クリーニング機能付き搬送部材及び基板処理装置のクリーニング方法
Abstract: front page image
(EN)Disclosed are: a cleaning sheet excellent in both of conveyability in a substrate-processing apparatus and an ability of removing foreign matters adhered in the apparatus; a conveying member having a cleaning function, which employs the cleaning sheet; and a method for cleaning a substrate-processing apparatus by using the cleaning sheet or the conveying member. Specifically, the cleaning sheet is characterized by having a cleaning layer on one surface of a base material and an adhesive layer on the other surface (i.e., a surface on which the cleaning layer is not provided) of the base material, wherein the adhesive layer comprises a layered silicate.
(FR)La présente invention se rapporte : à une feuille de nettoyage présentant à la fois une bonne aptitude au transport dans un appareil de traitement de substrats et une bonne aptitude à l'élimination des matières étrangères qui adhèrent à l'intérieur de l'appareil; à un élément de transport doté d'une fonction de nettoyage et utilisant ladite feuille de nettoyage; et à un procédé de nettoyage d'un appareil de traitement de substrats faisant appel à la feuille de nettoyage ou à l'élément de transport. Plus précisément, la feuille de nettoyage selon l'invention est caractérisée en ce qu'elle possède une couche de nettoyage sur l'une des surfaces d'un matériau de base et une couche adhésive sur l'autre surface (c'est-à-dire la surface exempte de la couche de nettoyage) de la matière de base, la couche adhésive contenant un silicate stratifié.
(JA) 基板処理装置内の搬送性および装置内に付着している異物の除去性の両者に優れているクリーニングシート、さらにはクリーニングシートを用いたクリーニング機能付き搬送部材、及び、これらを用いた基板処理装置のクリーニング方法を提供すること。支持基材の片面にクリーニング層を有し、クリーニング層が設けられていない側の支持基材の片面に粘着剤層を有するクリーニングシートであって、粘着剤層が層状珪酸塩を含有することを特徴とするクリーニングシート。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)