WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2008099808) SUBSTRATE POSITION DETECTING APPARATUS AND METHOD FOR ADJUSTING POSITION OF IMAGING COMPONENT OF THE SUBSTRATE POSITION DETECTING APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2008/099808    International Application No.:    PCT/JP2008/052260
Publication Date: 21.08.2008 International Filing Date: 12.02.2008
IPC:
H01L 21/68 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-Chome, Minato-Ku, Tokyo 1078481 (JP) (For All Designated States Except US).
SHINDO, Takehiro [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SHINDO, Takehiro; (JP)
Agent: ITOH, Tadahiko; 32nd Floor, Yebisu Garden Place Tower 20-3, Ebisu 4-chome Shibuya-ku, Tokyo 150-6032 (JP)
Priority Data:
2007-032487 13.02.2007 JP
Title (EN) SUBSTRATE POSITION DETECTING APPARATUS AND METHOD FOR ADJUSTING POSITION OF IMAGING COMPONENT OF THE SUBSTRATE POSITION DETECTING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE DÉTECTION DE POSITION DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ D'AJUSTEMENT DE POSITION DE COMPOSANT D'IMAGERIE DE L'APPAREIL DE DÉTECTION DE POSITION DE SUBSTRAT.
(JA) 基板位置検出装置及びその撮像部品位置調整方法
Abstract: front page image
(EN)A substrate position detecting apparatus is arranged in the vicinity of a turnable placing table whereupon the substrate is to be placed, and a substrate receiving/transferring apparatus, which is prepared separately from the placing table and permits a supporting pin to be driven in the horizontal direction to the placing table. A method for arranging coordinates of an imaging region of an imaging component on a substrate imaging surface is disclosed. In the method, a wafer with a mark which corresponds to the circumference of the substrate is supported at a prescribed height above the placing table by a supporting pin, the mark is brought into an imaging region, and the mark is detected at a plurality of points by shifting the mark in one direction by a prescribed distance within an imaging region, by driving the supporting pin in the horizontal direction. The coordinate axis direction is corrected in accordance with arrangement direction of the detected points, the wafer with the mark is maintained at a prescribed height above the placing table by the height adjusting jig, the mark is permitted to be in the imaging region, and the mark is detected at a plurality of points by turning the placing table to shift the mark in the imaging region by a prescribed angle, and the original point position of the coordinates are corrected in accordance with a rotation center obtained based on the plurality of points.
(FR)Un appareil de détection de position de substrat est disposé au voisinage d'une table de placement de type plateau tournant sur laquelle le substrat doit être placé, et un appareil de réception/transfert de substrat, qui est préparé séparément de la table de placement et permet à une broche de support d'être entraînée dans la direction horizontale par rapport à la table de placement. L'invention concerne un procédé de disposition de coordonnées d'une région d'imagerie d'un composant d'imagerie sur une surface d'imagerie de substrat. Dans le procédé, une tranche avec un repère qui correspond à la circonférence du substrat est supportée à la hauteur prescrite au-dessus de la table de placement par une broche de support, le repère est amené dans une région d'imagerie, et le repère est détecté au niveau d'une pluralité de points par décalage du repère dans une direction d'une distance prescrite dans une région d'imagerie, par entraînement de la broche de support dans la direction horizontale. La direction de l'axe de coordonnées est corrigée conformément à la direction d'agencement des points détectés, la tranche avec le repère est maintenue à une hauteur prescrite au-dessus de la table de placement par le gabarit d'ajustement en hauteur, le repère est amené à être dans la région d'imagerie, et le repère est détecté a une pluralité de points par rotation de la table de placement pour décaler le repère dans la région d'imagerie d'un angle prescrit, et la position de point initial des coordonnées est corrigée conformément à un centre de rotation obtenu sur la base de la pluralité de points.
(JA) 基板が載置される回転可能な載置台と、載置台とは別個に用意され基板を載置台へ受け渡す支持ピンを載置台に対して水平方向に駆動可能に構成された基板受渡し装置との近傍に配置される基板位置検出装置において、基板撮像面における撮像部品の撮像領域の座標の配置を調整する方法が開示される。この方法は、基板の周縁部に対応するマークを有するマーク付ウエハを支持ピンで載置台の上方の所定高さに支持し、マークを撮像領域内に入れ、支持ピンを水平方向に駆動してマークを撮像領域内で一方向に所定距離ずつ移動しながらマークを複数の点で検出し、検出した複数の点の配列方向に従って座標の軸方向を校正し、マーク付ウエハを高さ調整用治具で載置台上方の所定高さに維持し、マークを撮像領域内に入れ、載置台を回転してマークを撮像領域内で所定角度ずつ移動しながらマークを複数の点で検出し、これらの複数の点に基づき求めた回転中心に従って座標の原点位置を校正する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)