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Pub. No.:    WO/2008/099630    International Application No.:    PCT/JP2008/050348
Publication Date: 21.08.2008 International Filing Date: 15.01.2008
C23C 16/54 (2006.01), C23C 16/50 (2006.01)
Applicants: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO [JP/JP]; 10-26, Wakinohamacho 2-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6518585 (JP) (For All Designated States Except US).
TAMAGAKI, Hiroshi; (For US Only)
Inventors: TAMAGAKI, Hiroshi;
Agent: KOTANI, Etsuji; Osaka Nakanoshima Building 2nd Floor, 2-2 Nakanoshima 2-chome, Kita-ku Osaka-shi, Osaka 5300005 (JP)
Priority Data:
2007-031585 13.02.2007 JP
(JA) 連続成膜装置
Abstract: front page image
(EN)A continuous film forming apparatus comprises a pair of film forming rolls (2, 3) where winding substrates (S) are arranged opposite to each other in parallel, magnetic field generation members (12, 13) provided in respective film forming rolls (2, 3) and generating a magnetic field for converging plasma to the vicinity of the roll surface facing the opposing space (5) between the film forming rolls, a plasma power supply (14) where the polarity of one and the other electrodes is inverted alternately, a gas supply pipe (8) for supplying a film froming gas to the opposing space (5), and a means for vacuum pumping the opposing space (5). The plasma power supply (14) has one electrode connected with one film forming roll (2), and the other electrode connected with the other film forming roll (3).
(FR)La présente invention concerne un dispositif de fabrication d'un film continu comportant une paire de cylindres assurant la fabrication du film (2, 3), au niveau desquels des substrats enroulés (S) sont disposés à l'opposé l'un de l'autre au sein d'éléments parallèles générant un champ magnétique (12, 13) présents dans les deux cylindres assurant la fabrication du film (2, 3) et générant un champ magnétique destiné à faire converger du plasma dans le voisinage de la surface des cylindres faisant face à l'espace opposé (5) entre les cylindres assurant la fabrication du film. Elle concerne également un système d'alimentation en électricité du plasma (14) dans lequel la polarité de l'une et l'autre électrodes est inversée en alternance, une conduite d'alimentation en gaz (8) pour alimenter en un gaz assurant la formation du film l'espace opposé (5) et un dispositif permettant de faire le vide dans l'espace opposé (5). Le système d'alimentation en électricité du plasma (14) possède une électrode connectée à un cylindre assurant la fabrication du film (2) et l'autre électrode est connectée à l'autre cylindre assurant la fabrication du film (3).
(JA) 巻き掛けられた基材Sが対向するように平行に対向して配置された一対の成膜ロール2,3と、前記各成膜ロール2,3の内部に設けられ、前記成膜ロールの間の対向空間5に面したロール表面付近にプラズマを収束させるように磁場を発生させる磁場発生部材12,13と、一方の電極と他方の電極とが交互に極性が反転するプラズマ電源14と、前記対向空間5に成膜ガスを供給するガス供給管8及び前記対向空間を真空排気する真空排気手段を有する。前記プラズマ電源14は、その一方の電極が一方の成膜ロール2に接続され、他方の電極が他方の成膜ロール3に接続される。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)