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Pub. No.:    WO/2008/099501    International Application No.:    PCT/JP2007/052850
Publication Date: 21.08.2008 International Filing Date: 16.02.2007
H01J 37/26 (2006.01), H01J 37/21 (2006.01), H01J 37/244 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Applicants: FUJITSU LIMITED [JP/JP]; 1-1, Kamikodanaka 4-chome, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2118588 (JP) (For All Designated States Except US).
SOEDA, Takeshi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SOEDA, Takeshi; (JP)
Agent: KITANO, Yoshihito; Exceed Yotsuya 2nd Floor 9, Daikyo-cho Shinjuku-ku, Tokyo 160-0015 (JP)
Priority Data:
(JA) 電子顕微鏡及び観察方法
Abstract: front page image
(EN)Provided are an electronic microscope capable of measuring a measurement object having a three-dimensional structure, as a whole and in high precision, and an observing method using the electronic microscope. The electronic microscope comprises an electron gun (12) for generating an electron beam, an accelerator (14) for accelerating and introducing the electron beam generated by the electron gun (12), into a specimen (42), spectroscopes (24, 30) for selecting an electron beam of a specific energy, from the electron beams which have passed through the specimen (42) after they were made to lose the energy by the interactions with the specimen (42), and a detector (32) for detecting the electron beam of the specific energy selected by the spectroscopes (24, 30), thereby to acquire the transmission signal or the diffraction signal of the electron beam in such a depth of the specimen (42) as corresponds to the lost energy quantity of the electron beams.
(FR)La présente invention concerne un microscope électronique permettant de mesurer un objet de mesure doté d'une structure tridimensionnelle, dans son ensemble et avec une haute précision, ainsi qu'un procédé d'observation utilisant le microscope électronique. Le microscope électronique comprend un canon électronique (12) pour générer un faisceau d'électrons, un accélérateur (14) pour accélérer et introduire le faisceau d'électrons généré par le canon électronique (12), dans un échantillon (42), des spectroscopes (24, 30) pour sélectionner un faisceau d'électrons d'une énergie spécifique, à partir des faisceaux d'électrons qui passent à travers l'éprouvette (42) après perte d'énergie du fait des interactions avec l'échantillon (42), et un détecteur (32) pour détecter le faisceau électronique de l'énergie spécifique sélectionnée par les spectroscopes (24, 30), pour acquérir ainsi le signal de transmission ou le signal de diffraction du faisceau électronique dans une profondeur de l'éprouvette (42) correspondant à la quantité d'énergie perdue des faisceaux électroniques.
(JA) 本発明は、3次元構造を持つ測定対象物を全体的且つ高精度に測定しうる電子顕微鏡及びそれを用いた観察方法に関する。電子線を生成する電子銃(12)と、電子銃(12)により生成された電子線を加速して試料(42)に入射する加速器(14)と、試料(42)との相互作用によりエネルギーを損失して試料(42)を透過した電子線のうち、特定のエネルギーの電子線を選別する分光器(24,30)と、分光器(24,30)により選別された特定のエネルギーの電子線を検出し、電子線の損失エネルギー量に対応する試料(42)の深さにおける電子線の透過信号又は回折信号を取得する検出器(32)とを有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)