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1. (WO2008098084) HIGH PRESSURE CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2008/098084    International Application No.:    PCT/US2008/053223
Publication Date: 14.08.2008 International Filing Date: 06.02.2008
IPC:
H01J 37/28 (2006.01), H01J 37/147 (2006.01)
Applicants: FEI COMPANY [US/US]; 5350 NE Dawson Creek Drive, Hillsboro, OR 97124-5793 (US) (For All Designated States Except US).
KNOWLES, William Ralph [US/US]; (US) (For US Only).
TOTH, Milos [AU/US]; (US) (For US Only)
Inventors: KNOWLES, William Ralph; (US).
TOTH, Milos; (US)
Agent: SCHEINBERG, Michael O.; P.O. Box 164140, Austin, TX 78716-4140 (US)
Priority Data:
60/900,028 06.02.2007 US
Title (EN) HIGH PRESSURE CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES À HAUTE PRESSION
Abstract: front page image
(EN)The current invention includes methods and apparatuses for processing, that is, altering and imaging, a sample in a high pressure charged particle beam system. Embodiments of the invention include a cell in which the sample is positioned during high pressure charged particle beam processing. The cell reduces the amount of gas required for processing, thereby allowing rapid introduction, exhaustion, and switching between gases and between processing and imaging modes. Maintaining the processes gases within the cell protects the sample chamber and column from contact with the gases. In some embodiments, the temperature of the cell walls and the sample can be controlled.
(FR)L'invention concerne des procédés et des appareils de production, à savoir, de modification et de formation en image d'un échantillon dans un système de faisceau de particules chargées à haute pression. Des modes de réalisation de l'invention comprennent une cellule dans laquelle l'échantillon est positionné pendant un traitement de faisceau de particules chargées à haute pression. La cellule produit la quantité de gaz requis pour le traitement, permettant ainsi une introduction rapide, une exploitation et une commutation entre les gaz et entre les modes de traitement et d'imagerie. Maintenir les gaz de traitement dans la cellule protège la chambre d'échantillon et la colonne d'un contact avec les gaz. Dans certains modes de réalisation, la température des parois de cellule et de l'échantillon peut être régulée.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)