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1. (WO2008097838) SYSTEM AND METHOD OF CHEMICAL DILUTION AND DISPENSE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2008/097838    International Application No.:    PCT/US2008/052787
Publication Date: 14.08.2008 International Filing Date: 01.02.2008
Chapter 2 Demand Filed:    02.12.2008    
IPC:
F04B 25/00 (2006.01)
Applicants: ENTEGRIS, INC. [US/US]; 3500 Lyman Boulevard, Chaska, MN 55318 (US) (For All Designated States Except US).
CLARKE, Michael [US/US]; (US) (For US Only).
LAVERDIERE, Marc [US/US]; (US) (For US Only).
MCLOUGHLIN, Robert, F. [US/US]; (US) (For US Only).
NIERMEYER, Karl, J. [US/US]; (US) (For US Only).
SMITH, Joseph, E. [US/US]; (US) (For US Only).
MOLLICA, Rosario [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: CLARKE, Michael; (US).
LAVERDIERE, Marc; (US).
MCLOUGHLIN, Robert, F.; (US).
NIERMEYER, Karl, J.; (US).
SMITH, Joseph, E.; (US).
MOLLICA, Rosario; (US)
Agent: SCHUSTER, Katharina, W.; Sprinkle IP Law Group, 1301 W.25th Street, Suite 408, Austin, TX 78705 (US)
Priority Data:
60/899,299 02.02.2007 US
60/925,220 19.04.2007 US
Title (EN) SYSTEM AND METHOD OF CHEMICAL DILUTION AND DISPENSE
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE DILUTION ET DE DISTRIBUTION DE PRODUITS CHIMIQUES
Abstract: front page image
(EN)Embodiments disclosed herein provide a pump or a multiple-pump system that can mix chemicals without dilution tanks and can dispense the mixture of chemicals in a precise and highly controllable manner, particularly useful in semiconductor manufacturing processes. In some embodiments, one or more piston pumps of similar displacement are used to mix and dispense the chemical directly. A first valve is opened to a first chemical source. A piston is moved in a first direction to a selected position in a chamber to draw the first chemical into the chamber. The first valve is closed and a second valve is opened to a second chemical source. The piston is moved in the first direction to a second position in the chamber to draw in the second chemical and mix the chemicals. The second valve is closed and the piston is moved to dispense the fluids through a dispense port.
(FR)Les modes de réalisation décrits dans les présentes proposent une pompe ou un système multi-pompes capable de mélanger des produits chimiques en l'absence de cuves de dilution et de distribuer le mélange de produits chimiques d'une façon précise et hautement contrôlable, se révélant particulièrement utile dans le cadre des processus de fabrication des semi-conducteurs. Dans certains modes de réalisation, une ou plusieurs pompes à piston présentant un refoulement équivalent sont utilisées pour mélanger et distribuer directement le produit chimique. Un premier clapet est ouvert pour permettre l'introduction d'un premier produit chimique. Un piston est déplacé dans une première direction jusqu'à une position sélectionnée dans une chambre de façon à aspirer le premier produit chimique dans la chambre. Le premier clapet est fermé et un second clapet est ouvert pour permettre l'introduction d'un second produit chimique. Le piston est déplacé dans la première direction jusqu'à une seconde position de la chambre afin d'y aspirer le second produit chimique et de le mélanger au premier. Le second clapet est fermé et le piston est déplacé en vue de la distribution des liquides à travers un orifice de distribution.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)