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1. (WO2008096648) TARGET FORMED OF SINTERING-RESISTANT MATERIAL OF HIGH-MELTING POINT METAL ALLOY, HIGH-MELTING POINT METAL SILICIDE, HIGH-MELTING POINT METAL CARBIDE, HIGH-MELTING POINT METAL NITRIDE, OR HIGH-MELTING POINT METAL BORIDE, PROCESS FOR PRODUCING THE TARGET, ASSEMBLY OF THE SPUTTERING TARGET-BACKING PLATE, AND PROCESS FOR PRODUC
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2008/096648    International Application No.:    PCT/JP2008/051364
Publication Date: 14.08.2008 International Filing Date: 30.01.2008
IPC:
C23C 14/34 (2006.01), B23K 20/00 (2006.01), C04B 37/02 (2006.01)
Applicants: Nippon Mining & Metals Co., Ltd. [JP/JP]; 10-1, Toranomon 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP) (For All Designated States Except US).
YAMAKOSHI, Yasuhiro [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: YAMAKOSHI, Yasuhiro; (JP)
Agent: OGOSHI, Isamu; OGOSHI International Patent Office Daini-Toranomon Denki Bldg., 5F, 3-1-10 Toranomon, Minato-ku, Tokyo 1050001 (JP)
Priority Data:
2007-030792 09.02.2007 JP
Title (EN) TARGET FORMED OF SINTERING-RESISTANT MATERIAL OF HIGH-MELTING POINT METAL ALLOY, HIGH-MELTING POINT METAL SILICIDE, HIGH-MELTING POINT METAL CARBIDE, HIGH-MELTING POINT METAL NITRIDE, OR HIGH-MELTING POINT METAL BORIDE, PROCESS FOR PRODUCING THE TARGET, ASSEMBLY OF THE SPUTTERING TARGET-BACKING PLATE, AND PROCESS FOR PRODUC
(FR) CIBLE FORMÉE D'UN MATÉRIAU RÉSISTANT AU FRITTAGE D'ALLIAGE DE MÉTAUX À HAUT POINT DE FUSION, DE SILICIURE DE MÉTAL À HAUT POINT DE FUSION, DE CARBURE DE MÉTAL À HAUT POINT DE FUSION, DE NITRURE DE MÉTAL À HAUT POINT DE FUSION, OU DE BORURE DE MÉTAL À HAUT POINT DE FUSI
(JA) 高融点金属合金、高融点金属珪化物、高融点金属炭化物、高融点金属窒化物あるいは高融点金属ホウ化物の難焼結体からなるターゲット及びその製造方法並びに同スパッタリングターゲット-バッキングプレート組立体及びその製造方法
Abstract: front page image
(EN)This invention provides a target formed of a sintering-resistant material of a high-melting point metal alloy, a high-melting point metal silicide, a high-melting point metal carbide, a high-melting point metal nitride, or a high-melting point metal boride, characterized by having a structure comprising a target material formed of a sintering-resistant material of a high-melting point metal alloy, a high-melting point metal silicide, a high-melting point metal carbide, a high-melting point metal nitride, or a high-melting point metal boride and a high-melting point metal plate other than the target material joined to each other, and a process for producing the target. In the target and the production process of the target, a target formed of a sintering-resistant material of a high-melting point metal alloy, a high-melting point metal silicide, a high-melting point metal carbide, a high-melting point metal nitride, or a high-melting point metal boride, which has poor machinability, can relatively easily be produced. Further, the occurrence of cracking in the target production and high power sputtering can be effectively suppressed. Furthermore, a reaction of the material for a target with a die in hot pressing can be suppressed, and the warpage of the target can be reduced.
(FR)Cette invention concerne une cible formée d'un matériau résistant au frittage d'un alliage de métaux à haut point de fusion, d'un siliciure de métal à haut point de fusion, d'un carbure de métal à haut point de fusion, d'un nitrure de métal à haut point de fusion, ou d'un borure de métal à haut point de fusion, caractérisée par une structure comprenant un matériau de cible formé d'un matériau résistant au frittage d'un alliage de métaux à haut point de fusion, d'un siliciure de métal à haut point de fusion, d'un carbure de métal à haut point de fusion, d'un nitrure de métal à haut point de fusion, ou d'un borure de métal à haut point de fusion et une plaque de métal à haut point de fusion autre que celui du matériau de la cible, joints l'un à l'autre, et un procédé pour produire la cible. Dans la cible et dans le procédé de production de la cible, une cible formée d'un matériau résistant au frittage formé d'un alliage de métaux à haut point de fusion, d'un siliciure de métal à haut point de fusion, d'un carbure de métal à haut point de fusion, d'un nitrure de métal à haut point de fusion, ou d'un borure de métal à haut point de fusion, dont l'usinabilité est médiocre, peut être produite relativement facilement. En outre, l'apparition de fissures lors de la production et de la pulvérisation cathodique à haute puissance de la cible peut être efficacement supprimée. De surcroît, la réaction du matériau de la cible avec la matrice en pressage à chaud peut être supprimée, et le gauchissement de la cible peut être réduit.
(JA) 高融点金属合金、高融点金属珪化物、高融点金属炭化物、高融点金属窒化物あるいは高融点金属ホウ化物の難焼結体からなるターゲット材とターゲット材以外の高融点金属板とが接合された構造を備えていることを特徴とする高融点金属合金、高融点金属珪化物、高融点金属炭化物、高融点金属窒化物あるいは高融点金属ホウ化物の難焼結体からなるターゲット。機械加工が難しい高融点金属合金、高融点金属珪化物、高融点金属炭化物、高融点金属窒化物あるいは高融点金属ホウ化物の難焼結体からなるターゲットを比較的容易に製造できるようにすると共に、ターゲット製造時及びハイパワースパッタリング時の割れの発生を効果的に抑制し、またターゲット原料のホットプレス時におけるダイスとの反応を抑制し、さらにターゲットの反りを低減できる高融点金属合金、高融点金属珪化物、高融点金属炭化物、高融点金属窒化物あるいは高融点金属ホウ化物の難焼結体からなるターゲット及びその製造方法を提供する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)