WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2008093904) PROBE STATION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2008/093904    International Application No.:    PCT/KR2007/000633
Publication Date: 07.08.2008 International Filing Date: 06.02.2007
IPC:
H01L 21/66 (2006.01)
Applicants: POSTECH ACADEMY-INDUSTRY FOUNDATION [KR/KR]; San 31, Hyoja-dong, Nam-gu, Pohang, Gyungbuk 790-784 (KR) (For All Designated States Except US).
REE, Moonhor [KR/KR]; (KR) (For US Only).
KIM, Jiyoun [KR/KR]; (KR) (For US Only).
RHO, Yecheol [KR/KR]; (KR) (For US Only)
Inventors: REE, Moonhor; (KR).
KIM, Jiyoun; (KR).
RHO, Yecheol; (KR)
Agent: PARK, Sang Hoon; 4th floor, Sewon-Bldg., 823-48, Yeoksam 1-dong, Gangnam-gu, Seoul 135-081 (KR)
Priority Data:
10-2007-0010773 01.02.2007 KR
Title (EN) PROBE STATION
(FR) STATION DE SONDE
Abstract: front page image
(EN)The present invention relates to a probe station which is electric analysis equipment for an electrical and electronic device component, comprising: a box-shaped case having an enclosed structure; a chuck mounted inside the case for fixedly placing the device component thereon; a chuck drive stage for moving independently the chuck in left/right and forward/rearward directions; a probe for probing a sample of the device component; a holder coupled to the probe; a probe drive stage for externally controlling the holder to be moved in a vertical and horizontal direction; an optical microscope mounted above the top surface of the case for observing a contact between the device component and the probe; a microscope control stage for controlling the position of the optical microscope in left/right and forward/rearward directions; an openable/ closable transparent window mounted on the top surface and the front surface of the case so as to observe the inside of the case; a connection tube for enabling inflow and outflow of gas into and out of the case; and a probe connecting line for transferring an electrical control signal outputted from the probe to an analysis unit therethrough.
(FR)La présente invention porte sur une station de sonde qui est un équipement d'analyse électrique pour un composant de dispositif électrique et électronique, comprenant une enveloppe en forme de boîtier ayant une structure fermée ; un mandrin monté à l'intérieur de l'enveloppe pour placer de façon fixe le composant de dispositif sur celui-ci ; un étage d'entraînement de mandrin pour déplacer indépendamment le mandrin dans les directions gauche/droite et avant/arrière ; une sonde pour sonder un échantillon du composant de dispositif ; un support couplé à la sonde ; un étage d'entraînement de sonde pour commander de façon externe le support devant être déplacé dans une direction verticale et horizontale ; un microscope optique monté au-dessus de la surface supérieure de l'enveloppe pour observer un contact entre le composant de dispositif et la sonde ; un étage de commande de microscope pour commander la position du microscope optique dans les directions gauche/droite et avant/arrière; une fenêtre transparente pouvant être ouverte/fermée, montée sur la surface supérieure et la surface avant de l'enveloppe de façon à observer l'intérieur de l'enveloppe ; un tube de connexion pour permettre l'entrée et la sortie du flux de gaz dans et hors de l'enveloppe ; et une ligne de connexion de sonde pour transférer un signal de commande électrique émis par la sonde à une unité d'analyse à travers celle-ci.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: Korean (KO)