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1. (WO2008093624) TREATING SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2008/093624    International Application No.:    PCT/JP2008/051156
Publication Date: 07.08.2008 International Filing Date: 28.01.2008
H01L 21/304 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (For All Designated States Except US).
AMANO, Yoshifumi [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: AMANO, Yoshifumi; (JP)
Agent: YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office, Room 323, Fuji Bldg., 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku Tokyo 1000005 (JP)
Priority Data:
2007-022618 01.02.2007 JP
(JA) 処理システム
Abstract: front page image
(EN)A treating system where treating fluid is supplied into a treating container to treat an object to be treated, wherein the treating fluid is stably supplied into the treating container. The treating system has the treating container for receiving an object to be treated, a treating fluid generating section for generating the treating fluid, a treating-side flow path for supplying the treating fluid, which is generated by the treating fluid generating section, into the treating container, and a discharge flow path for discharging the treating fluid from the treating container. The treating system further has a bypass-side flow path connected at its downstream end to the discharge flow path and discharging the treating fluid, generated by the treating fluid generation section, without supplying it into the treating container, a pressure control mechanism provided in the discharge flow path, on the downstream side of the position at which the downstream end of the bypass-side flow path is connected to the discharge flow path, and a switchover valve for selectively connecting a flow path, into which the treating fluid generated by the treating fluid generation section is delivered, to the treating-side flow path and to the bypass-side flow path.
(FR)L'invention concerne un système de traitement où du fluide de traitement est fourni dans un conteneur de traitement afin de traiter un objet à traiter, dans lequel le fluide de traitement est fourni de manière stable dans le conteneur de traitement. Le système de traitement comporte le conteneur de traitement destiné à recevoir un objet à traiter, une section de génération de fluide de traitement pour générer le fluide de traitement, un passage de traitement latéral pour fournir le fluide de traitement, qui est généré par la section de génération de fluide de traitement dans le conteneur de traitement et un passage d'évacuation pour évacuer le fluide de traitement à partir du conteneur de traitement. Le système de traitement possède en outre un passage de dérivation latéral relié sur son extrémité en aval au passage d'évacuation et évacue le fluide de traitement, généré par la section de génération de fluide de traitement sans le fournir dans le conteneur de traitement, un mécanisme de commande de pression situé dans le passage d'évacuation, sur le côté en aval de la position sur laquelle l'extrémité en aval du passage de dérivation latéral est reliée au passage d'évacuation et une soupape d'inversion pour relier de manière sélective un passage, dans lequel le fluide de traitement généré par la section de génération de fluide de traitement est fourni, au passage de traitement latéral et au passage de dérivation latéral.
(JA) 処理流体を処理容器内に供給して被処理体を処理する処理システムにおいて、処理容器内への処理流体の供給を安定させる。処理システムは、被処理体を収容する処理容器と、処理流体を発生させる処理流体発生部と、前記処理流体発生部で発生させた処理流体を前記処理容器内に供給する処理側流路と、前記処理容器内から処理流体を排出させる排出流路と、を備える。処理システムは、下流端が前記排出流路に接続され、前記処理流体発生部で発生させた処理流体を前記処理容器内へ供給せずに排出させるバイパス側流路と、前記バイパス側流路の前記下流端の接続位置よりも下流側において前記排出流路に設けられた圧力制御機構と、前記処理流体発生部で発生させた処理流体が送り込まれる流路を、前記処理側流路と前記バイパス側流路との間で選択的に切り替える切替弁と、をさらに備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)