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1. WO2007148850 - COOLING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR OR LCD MANUFACTURING PROCESS

Publication Number WO/2007/148850
Publication Date 27.12.2007
International Application No. PCT/KR2006/003901
International Filing Date 28.09.2006
IPC
H01L 21/00 2006.01
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
CPC
H01L 21/67109
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67011Apparatus for manufacture or treatment
67098Apparatus for thermal treatment
67109mainly by convection
Applicants
  • KIM, Yeong-Hun [KR]/[KR]
Inventors
  • KIM, Yeong-Hun
Agents
  • MAC PATENT & LAW FIRM
Priority Data
10-2006-005651322.06.2006KR
Publication Language English (EN)
Filing Language Korean (KO)
Designated States
Title
(EN) COOLING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR OR LCD MANUFACTURING PROCESS
(FR) APPAREIL DE REFROIDISSEMENT POUR PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEUR OU D'ÉCRAN À CRISTAUX LIQUIDES (LCD)
Abstract
(EN)
A cooling apparatus for semiconductor or liquid crystal display (LCD) manufacturing equipment is provided with a circulation pipe having an input port and an output port in order to cool a chamber. The cooling apparatus includes a valve, a regulator, a vortex tube, a first temperature sensor and a controller. Thereby, the cooling apparatus can prevent environmental destruction by using compressed gas instead of existing refrigerants or cooling material, and does not require a heater for heating when supercooled, to thus save production costs and maintenance expenses.
(FR)
Cette invention a pour objet un appareil de refroidissement pour un équipement de fabrication de semi-conducteur ou d'écran à cristaux liquides (LCD) comportant une conduite de circulation ayant un orifice d'entrée et un orifice de sortie afin de refroidir une chambre. L'appareil de refroidissement comprend une soupape, un régulateur, une conduite à tourbillons, un premier détecteur de température et un dispositif de commande. Ainsi, l'appareil de refroidissement peut empêcher une destruction environnementale par l'utilisation d'un gaz comprimé à la place de réfrigérants ou de matériau de refroidissement existants , et ne nécessite pas un dispositif de chauffage pour chauffer lorsqu'il est surrefroidi, économisant ainsi des coûts de production et des dépenses de maintenance.
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