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1. (WO2007098237) METHOD AND APPARATUS FOR CHARACTERIZING A PROBE TIP
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/098237    International Application No.:    PCT/US2007/004574
Publication Date: 30.08.2007 International Filing Date: 20.02.2007
IPC:
G01Q 10/00 (2010.01), G01Q 40/00 (2010.01), G01Q 40/02 (2010.01), G01Q 60/38 (2010.01)
Applicants: VEECO INSTRUMENTS INC. [US/US]; 100 Sunnyside Boulevard, Woodbury, NY 11797-2902 (US) (For All Designated States Except US).
DAHLEN, Gregory, A. [US/US]; (US) (For US Only).
LIU, Hao-chih [CN/US]; (US) (For US Only)
Inventors: DAHLEN, Gregory, A.; (US).
LIU, Hao-chih; (US)
Agent: NEWHOLM, Timothy, E.; Boyle Fredrickson Newholm Stein & Gratz S.C., 840 North Fredrickson Avenue, Milwaukee, WI 53203 (US)
Priority Data:
60/743,321 20.02.2006 US
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR CHARACTERIZING A PROBE TIP
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE CARACTERISATION D'UN EMBOUT DE SONDE
Abstract: front page image
(EN)A method and apparatus are provided of characterizing a re-entrant SPM probe tip (30) through a single scan of a characterizer, thus dramatically increasing throughput, accuracy, and repeatability when compared to prior known tip characterization techniques. The characterizer also preferably is one whose dimensions can be known with a high level of certainty in order to maximize characterization accuracy. These dimensions are also preferably very stable or, if unstable, change catastrophically rather than in a manner that is difficult or impossible to detect. A carbon nanotube (CNT), preferably a single walled carbon nanotube (SWCNT), has been found to be well-suited for this purpose. Multi-walled carbon nanotubes (MWCNTs) (130) and other structures may also suffice for this purpose. Also provided are a method and apparatus for monitoring the integrity of a CNT.
(FR)L'invention concerne un procédé et un appareil de caractérisation d'un embout (30) de sonde pour microscope en champ proche (SPM) par un seul balayage d'un dispositif de caractérisation, augmentant ainsi considérablement le débit, la précision et la répétabilité par comparaison aux techniques de caractérisation d'embouts connues auparavant. Le dispositif de caractérisation est également de préférence tel que ses dimensions peuvent être connues avec un haut degré de certitude afin de maximiser la précision de la caractérisation. Ces dimensions sont également de préférence très stables ou, si elles sont instables, varient brutalement plutôt que de manière difficile ou impossible à détecter. Un nanotube de carbone (CNT), de préférence un nanotube de carbone à paroi unique (SWCNT), s'est avéré bien adapté à cet effet. Des nanotube de carbone à parois multiples (MWCNT) (130) et d'autres structures peuvent également suffire à cet effet. L'invention concerne également un procédé et un appareil de contrôle de l'intégrité d'un CNT.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)