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1. (WO2007097098) ANGULAR SPEED SENSOR AND METHOD FOR MEASURING ANGULAR SPEED
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/097098    International Application No.:    PCT/JP2006/324706
Publication Date: 30.08.2007 International Filing Date: 12.12.2006
IPC:
G01C 19/56 (2006.01), G01P 9/04 (2006.01)
Applicants: Microstone Corporation [JP/JP]; 1173-1394, Oaza-Kusagoe, Miyota-machi, Kitasaku-gun Nagano 3890202 (JP) (For All Designated States Except US).
OKADA, Shigeya [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SHIRATORI, Norihiko [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: OKADA, Shigeya; (JP).
SHIRATORI, Norihiko; (JP)
Agent: EMORI, Kenji; Excel Shinjuku-Gyoen Building 5F, 11-3, Shinjuku 1-chome Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
Priority Data:
2006-044319 21.02.2006 JP
Title (EN) ANGULAR SPEED SENSOR AND METHOD FOR MEASURING ANGULAR SPEED
(FR) CAPTEUR DE VITESSE ANGULAIRE ET PROCEDE DE MESURE DE VITESSE ANGULAIRE
(JA) 角速度センサおよび角速度の測定方法
Abstract: front page image
(EN)An angular speed sensor which can perform vibratory operation easily and precisely while exhibiting excellent sensitivity and can be miniaturized easily and can reduce power consumption. A method for measuring angular speed is also provided. An angular speed sensor comprising a base section for securing three vibration legs, three mass bodies continuous to respective vibration legs, an oscillation circuit for vibrating each vibration leg, and a section for detecting Coriolis force generated from each mass body, and the method for measuring the angular speed, wherein, assuming two orthogonal axes in a plane including the vibration leg are X axis and Y axis and the axis in the direction normal to the plane is Z axis, the first vibration leg is aligned with the Y axis direction, the second and third vibration legs have portions extending obliquely in the direction mutually separating from the Y axis, respectively. When Coriolis force generated from each mass body is detected at the detecting section, the first through third mass bodies perform a planar operation of HS mode or HA mode as the oscillation mode.
(FR)La présente invention concerne un capteur de vitesse angulaire capable de réaliser une opération vibratoire facilement et précisément tout en montrant une excellente sensibilité et qui peut être miniaturisé facilement et peut réduire la consommation électrique. L'invention concerne également un procédé de mesure de la vitesse angulaire. Un capteur de vitesse angulaire comprenant une section de base pour sécuriser trois pattes de vibration, trois corps de masse continus sur les pattes de vibration respectives, un circuit d'oscillation pour faire vibrer chaque patte de vibration, ainsi qu'une section pour détecter une force de Coriolis générée par chaque corps de masse, ainsi que le procédé pour mesurer la vitesse angulaire ; en supposant deux axes orthogonaux dans un plan comprenant la patte de vibration, on trouve l'axe X et l'axe Y et l'axe dans la direction normale au plan est l'axe Z, la première patte de vibration est alignée avec la direction de l'axe Y, les deuxième et troisième pattes de vibration ayant des parties se prolongeant de manière oblique dans la direction les séparant mutuellement de l'axe Y. Lorsqu'une force de Coriolis générée par chaque corps de masse est détectée sur la section de détection, les premier à troisième corps de masse réalisent une opération planaire du mode HS ou du mode HA, comme mode d'oscillation.
(JA) 振動動作が簡易かつ精度良く可能であって、感度がすぐれるばかりか、さらには低消費電力化や小型化が容易な角速度センサおよび角速度の測定方法を提供する。  3つの振動脚を固定するための基部と、各振動脚に連なる3つの質量体と、各振動脚を振動させるための発振回路部と、各質量体について発生したコリオリ力を検出するための検出部と、を有する角速度センサおよび角速度の測定方法であって、振動脚を含む平面において直交する二軸をX軸及びY軸とし、かつ平面に垂直方向にZ軸をとったときに、第1振動脚がY軸方向に一致させてあるとともに、第2振動脚及び第3振動脚が、それぞれY軸から互いに離れるように斜め方向に延びる延設部を備えており、検出部において、各質量体について発生したコリオリ力を検出するに際して、第1質量体~第3質量体の振動モードとして、HSモード、あるいはHAモードの動作を、平面的になす。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)