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1. (WO2007095189) ELECTROMAGNET WITH ACTIVE FIELD CONTAINMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/095189    International Application No.:    PCT/US2007/003700
Publication Date: 23.08.2007 International Filing Date: 13.02.2007
IPC:
H01J 37/317 (2006.01), H01J 37/05 (2006.01), H01J 37/141 (2006.01)
Applicants: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road, Gloucester, MA 01930 (US) (For All Designated States Except US).
KELLERMAN, Peter, L. [US/US]; (US) (For US Only).
PURSER, Kenneth, H. [US/US]; (US) (For US Only)
Inventors: KELLERMAN, Peter, L.; (US).
PURSER, Kenneth, H.; (US)
Agent: FABER, Scott, R.; Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc., 35 Dory Road, Gloucester, MA 01930-2297 (US)
Priority Data:
11/276,128 15.02.2006 US
Title (EN) ELECTROMAGNET WITH ACTIVE FIELD CONTAINMENT
(FR) ELECTROAIMANT AVEC CONFINEMENT DU CHAMP ACTIF
Abstract: front page image
(EN)An electromagnet and related ion implanter system including active field containment are disclosed. The electromagnet provides a dipole magnetic field within a tall, large gap with minimum distortion and degradation of strength. In one embodiment, an electromagnet for modifying an ion beam includes: a ferromagnetic box structure including six sides; an opening in each of a first side and a second opposing side of the ferromagnetic box structure for passage of the ion beam therethrough; and a plurality of current-carrying wires having a path along an inner surface of the ferromagnetic box structure, the inner surface including the first side and the second opposing side and third side and a fourth opposing side, wherein the plurality of current-carrying wires are positioned to pass around each of the openings of the first and second opposing sides.
(FR)La présente invention concerne un électroaimant et un système d'implantation ionique apparenté comprenant un confinement du champ actif. L'électroaimant fournit un champ magnétique dipôle à l'intérieur d'un important et grand espace avec une distorsion minimum et une dégradation minimum de la force. Dans un mode de réalisation, un électroaimant destiné à modifier un faisceau ionique comprend : une structure de boîte ferromagnétique comprenant six côtés ; une ouverture dans chacun parmi un premier côté et un deuxième côté opposé de ladite structure pour le passage du faisceau ionique à travers celle-ci ; et une pluralité de fils transportant le courant comportant un trajet le long d'une surface interne de ladite structure, la surface interne comprenant le premier côté et le deuxième côté opposé et un troisième côté et un quatrième côté opposé, la pluralité desdits fils étant positionnée pour passer autour de chacune des ouvertures des premier et deuxième côtés opposés.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)