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1. (WO2007094811) DETECTOR OPTICS FOR MULTIPLE ELECTRON BEAM TEST SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/094811    International Application No.:    PCT/US2006/019113
Publication Date: 23.08.2007 International Filing Date: 05.05.2006
IPC:
G21K 7/00 (2006.01)
Applicants: MULTIBEAM SYSTEMS, INC. [US/US]; 2090 Duane Avenue, Santa Clara, CA 95054-3306 (US) (For All Designated States Except US)
Inventors: PARKER, N., William; (US).
MILLER, S., Daniel; (US)
Agent: JAFFER, David, H.; PILLSBURY WINTHROP SHAW PITTMAN LLP, INTELLECTUAL PROPERTY GROUP, P.o. Box 10500, Mclean, VA 22102 (US)
Priority Data:
11/355,256 14.02.2006 US
Title (EN) DETECTOR OPTICS FOR MULTIPLE ELECTRON BEAM TEST SYSTEM
(FR) COMPOSANTS optiques de détecteur pour système d'essai à faisceau d'électrons multiple
Abstract: front page image
(EN)A detector optics system for collecting secondary electrons (SEs) and/or backscattered electrons (BSEs) in a multiple charged particle beam test system is disclosed. One embodiment comprises a charged particle optical system comprising a charged particle optical assembly comprising a line of N charged particle optical columns, the line of columns being aligned along a main scan axis, the optical axes of the columns being equally spaced along the line. Each of the columns is configured to produce a charged particle beam, each beam being deflectable through a large angle along the main scan axis. A first linear array of at least 2N electron detectors is aligned parallel to and offset from the main scan axis.
(FR)L'invention concerne un système à composants optiques de détecteur permettant de recueillir des électrons secondaires (SE) et/ou des électrons rétrodiffusés (BSE) dans un système d'essai à faisceau de particules chargées multiple. Des aspects du système à composants optiques de détecteur englobent : la capacité de mettre en images et/ou de tester électriquement un certain nombre d'emplacements simultanément de part et d'autre de la largeur entière d'un gros substrat avec un rendement élevé et une efficacité de collecte uniforme tout en évitant toute diaphonie entre les signaux générés par des faisceaux voisins. Selon un mode de réalisation, une matrice linéaire de N faisceaux d'électrons conduit les SE à être émis par le substrat, ceux-ci étant ensuite recueillis par une ou plusieurs matrices linéaires de >2N détecteurs. Chaque matrice linéaire est connectée à un circuit combinateur de signaux qui détermine de façon dynamique les détecteurs qui collectent les SE générés par chaque faisceau d'électrons pendant le balayage de part et d'autre de la surface du substrat puis combine les signaux provenant de ces détecteurs pour constituer N signaux de sortie simultanés (un par faisceau de particules chargées) pour chaque matrice de détecteurs.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)