WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO2007094473) TERTIARY ALCOHOL DERIVATIVE, POLYMER COMPOUND AND PHOTORESIST COMPOSITION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/094473    International Application No.:    PCT/JP2007/052891
Publication Date: 23.08.2007 International Filing Date: 16.02.2007
IPC:
C08F 20/28 (2006.01), C07D 307/32 (2006.01), C07D 309/10 (2006.01), G03F 7/039 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Applicants: KURARAY CO., LTD. [JP/JP]; 1621, Sakazu, Kurashiki-shi, Okayama 7108622 (JP) (For All Designated States Except US).
NAKAYAMA, Osamu [JP/JP]; (JP) (For US Only).
ARATANI, Ichihiro [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: NAKAYAMA, Osamu; (JP).
ARATANI, Ichihiro; (JP)
Priority Data:
2006-041359 17.02.2006 JP
Title (EN) TERTIARY ALCOHOL DERIVATIVE, POLYMER COMPOUND AND PHOTORESIST COMPOSITION
(FR) DERIVE ALCOOL TERTIAIRE, COMPOSE POLYMERE ET COMPOSITION DE PHOTORESIST
(JA) 第3級アルコール誘導体、高分子化合物およびフォトレジスト組成物
Abstract: front page image
(EN)Disclosed are (1) a polymer compound for photoresist compositions which is high in storage stability and small in swelling during development; (2) a compound which is a raw material for such a polymer compound; and (3) a photoresist composition containing such a polymer compound and improved in LWR. Specifically disclosed is [1] a tertiary alcohol derivative represented by the general formula (1) below. [Chemical formula 1] (1) (In the formula, R1 represents a linear alkyl group having 1-6 carbon atoms, a branched alkyl group having 3-6 carbon atoms or a cyclic alkyl group having 3-6 carbon atoms; R2 represents a hydrogen atom or a methyl group; W represents a linear alkylene group having 1-10 carbon atoms, a branched alkylene group having 3-10 carbon atoms or a cyclic alkylene group having 3-10 carbon atoms; n represents 0 or 1; and p represents 1 or 2.)
(FR)La présente invention concerne (1) un composé polymère pour compositions de photorésist qui est excellent en termes de stabilité de stockage et gonfle peu lors du développement ; (2) un composé qui est un produit de départ pour un tel composé polymère ; et (3) une composition de photorésist contenant un tel composé polymère et améliorée en termes de rugosité de trait. La présente invention concerne plus spécifiquement [1] un dérivé alcool tertiaire représenté par la formule générale (1) ci-dessous. [Formule chimique 1] (1) (Dans la formule, R1 représente un groupe alkyle linéaire contenant de 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alkyle ramifié contenant de 3 à 6 atomes de carbone ou un groupe alkyle cyclique contenant de 3 à 6 atomes de carbone ; R2 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle ; W représente un groupe alkylène linéaire contenant de 1 à 10 atomes de carbone, un groupe alkylène ramifié contenant de 3 à 10 atomes de carbone ou un groupe alkylène cyclique contenant de 3 à 10 atomes de carbone ; n représente 0 ou 1 ; et p représente 1 ou 2.)
(JA)not available
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)