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1. (WO2007094213) IMPRINTING DEVICE AND IMPRINTING METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/094213    International Application No.:    PCT/JP2007/052115
Publication Date: 23.08.2007 International Filing Date: 07.02.2007
IPC:
B29C 59/02 (2006.01), G11B 5/84 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Applicants: PIONEER CORPORATION [JP/JP]; 4-1, Meguro 1-chome, Meguro-ku Tokyo 1538654 (JP) (For All Designated States Except US).
HOSODA, Yasuo [JP/JP]; (JP) (For US Only).
IMAI, Tetsuya [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: HOSODA, Yasuo; (JP).
IMAI, Tetsuya; (JP)
Agent: MASUDA, Hirofumi; Higashiueno Kamimura Bldg 2nd Floor 1-7-13, Higashiueno Taito-ku Tokyo 1100015 (JP)
Priority Data:
2006-036001 14.02.2006 JP
Title (EN) IMPRINTING DEVICE AND IMPRINTING METHOD
(FR) dispositif d'impression et procédé d'impressioN
(JA) インプリント装置及びインプリント方法
Abstract: front page image
(EN)While a stamper (4) having a concave pattern (4A) is in pressed contact with a transfer material (2) having fluidity, the transfer material (2) is hardened and then the stamper (4) is peeled off, thereby forming a transferred object (17) having a convex pattern (17A) corresponding to the concave pattern (4A). A pressurizing mechanism (10) and a vacuum pump (13) are set so as to satisfy the relationship Mo/P ≥ k/(K - k), wherein K is depth of the concave pattern (4A) of the stamper (4), k is height of the convex pattern (17A) of the transfer material (2), Mo is an effective pressure when the stamper (4) is pressed, and P is a pressure inside the transfer space R. Thus, even when air comes into and is sealed in the concave pattern (4A) of the stamper (4), transfer can be performed without a problem.
(FR)Lorsqu'un poinçon (4) de motif concave (4A) est en contact par pressage avec un matériau de transfert (2) d'une certaine fluidité, le matériau de transfert (2) est durci puis le poinçon (4) est arraché, ceci produisant ainsi un objet transféré (17) de motif convexe (17A) correspondant au motif concave (4A). Un mécanisme de mise sous pression (10) et une pompe à vide (13) sont réglés pour satisfaire à la relation Mo/P ≥ k/(K - k), où K est la profondeur du motif concave (4A) du poinçon (4), k est la hauteur du motif convexe (17A) du matériau de transfert (2), Mo est une pression efficace lorsque le poinçon (4) est comprimé, et P est une pression à l'intérieur de l'espace de transfert R. Ainsi, même lorsque de l'air passe et se trouve scellé dans le motif concave (4A) du poinçon (4), le transfert peut être réalisé sans problème.
(JA)not available
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)