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1. (WO2007093497) METHOD FOR PRODUCING A TEST STRUCTURE IN ORDER TO TEST FLEXIBILITY OF A MEMBRANE OF A MICROMECHANICAL COMPONENT AND CORRESPONDING EXAMINATION STRUCTURE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/093497    International Application No.:    PCT/EP2007/050877
Publication Date: 23.08.2007 International Filing Date: 30.01.2007
IPC:
G01B 11/16 (2006.01), G01L 9/00 (2006.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20, 70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
SCHUETTE, Klaus [DE/DE]; (DE) (For US Only).
DAVIES, Neil [GB/DE]; (DE) (For US Only).
DUELL, Andreas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LAMMEL, Gerhard [DE/DE]; (DE) (For US Only).
NEUBAUER, Matthias [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SENZ, Volkmar [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHNITZLER, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: SCHUETTE, Klaus; (DE).
DAVIES, Neil; (DE).
DUELL, Andreas; (DE).
LAMMEL, Gerhard; (DE).
NEUBAUER, Matthias; (DE).
SENZ, Volkmar; (DE).
SCHNITZLER, Thomas; (DE)
Common
Representative:
ROBERT BOSCH GMBH; Postfach 30 02 20, 70442 Stuttgart (DE)
Priority Data:
102006006890.4 15.02.2006 DE
Title (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER PRÜFSTRUKTUR ZUR PRÜFUNG DER DURCHBIEGUNG EINER MEMBRAN EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS UND ENTSPRECHENDE PRÜFSTRUKTUR
(EN) METHOD FOR PRODUCING A TEST STRUCTURE IN ORDER TO TEST FLEXIBILITY OF A MEMBRANE OF A MICROMECHANICAL COMPONENT AND CORRESPONDING EXAMINATION STRUCTURE
(FR) PROCÉDÉ POUR RÉALISER UNE STRUCTURE DE VÉRIFICATION DESTINÉE À VÉRIFIER LA COURBURE D'UNE MEMBRANE D'UN COMPOSANT MICROMÉCANIQUE, ET STRUCTURE DE VÉRIFICATION CORRESPONDANTE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung schafft eine Prüfstruktur zur Prüfung der Durchbiegung einer Membran (3) eines mikromechanischen Bauelements (10) mit einer Mehrzahl von diskreten Testmustern (T1-T4), wobei die Testmuster (T1-T4) durch Entwickeln (S3) strukturell unterschiedlich aufgelöst sind, so dass die strukturelle Auflösung eines jeweiligen Testmusters (T1-T4) ein Maß für Durchbiegung der Membran (3) an der Position eines jeweiligen Testmusters (T1-T4) ist, sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die Erfindung schafft ebenfalls eine Prüfstruktur zur Prüfung der Durchbiegung einer Membran (3) eines mikromechanischen Bauelements (10) mit einem kontinuierlichen Testmuster (T5), wobei das Testmuster (T5) durch Entwickeln (S3) strukturell sich kontinuierlich ändernd aufgelöst ist, so dass die strukturelle Auflösung des Testmusters (T5) an einer jeweiligen Position des Testmusters (T5) ein Maß für Durchbiegung der Membran (3) an der jeweiligen Position des Testmusters (T5) ist, sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren.
(EN)The invention relates to a test structure for testing flexibility of a membrane (3) of a micromechanical component (10), comprising a plurality of discrete test patterns (T1-T4). Said test patterns (T1-T4) are resolved in a structurally different manner by a developing process so that the structural resolution of a respective test pattern (T1-T4) represents a measurement for the flexibility of the membrane (3) in the position of a respective test pattern (T1-T4), and to a corresponding production method. The invention also relates to an test structure for testing the flexibility of a membrane (3) of a micromechanical component (10), said test structure comprising a continuous test structure (T5), whereby the test pattern (T1-T4) is resolved in a structurally continuous manner by a developing process so that the structural resolution of the test pattern (T5) in a respective position of the pest pattern (T5) represents a measurement of the flexibility of the membrane (3) in the respective position of the test pattern (T5), in addition to a corresponding method.
(FR)La présente invention concerne une structure de vérification destinée à vérifier la courbure d'une membrane (3) d'un composant micromécanique (10), la structure comprenant une pluralité de motifs d'essai discrets (T1-T4) dont le développement (S3) donne des résolutions structurelles différentes de sorte que la résolution structurelle d'un motif d'essai (T1-T4) respectif est représentative de la courbure de la membrane (3) au niveau de l'emplacement du motif d'essai (T1-T4) respectif; ainsi qu'un procédé de réalisation correspondant. L'invention a également pour objet une structure de vérification destinée à vérifier la courbure d'une membrane (3) d'un composant micromécanique (10), la structure de vérification comprenant un motif d'essai continu (T5) dont le développement (S3) permet d'obtenir une résolution structurelle qui varie en continu de sorte que la résolution structurelle du motif d'essai (T5) au niveau de l'emplacement respectif du motif d'essai (T5) est représentative de la courbure de la membrane (3) au niveau de l'emplacement respectif du motif d'essai (T5); ainsi qu'un procédé de réalisation correspondant.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)