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1. (WO2007093390) APPARATUS AND METHOD FOR THE UNIFORM COATING OF SUBSTRATES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2007/093390    International Application No.:    PCT/EP2007/001246
Publication Date: 23.08.2007 International Filing Date: 13.02.2007
IPC:
B05B 15/12 (2006.01), B05C 5/00 (2006.01), B05C 9/06 (2006.01), B05C 11/08 (2006.01), B05C 15/00 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: STANGL SEMICONDUCTOR EQUIPMENT AG [DE/DE]; Ringstrasse 17, 82223 Eichenau (DE) (For All Designated States Except US).
WÜRTH SOLAR GMBH & CO. KG [DE/DE]; Alfred-Leikam-Strasse 25, 74523 Schwäbisch Hall (DE) (For All Designated States Except US).
STANGL, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (For US Only).
STANGL, Hans-Jürgen [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: STANGL, Wolfgang; (DE).
STANGL, Hans-Jürgen; (DE)
Agent: STÖCKELER, Ferdinand; Schoppe, Zimmermann, Stöckeler & Zinkler, Postfach 246, 82043 Pullach bei München (DE)
Priority Data:
10 2006 007 446.7 17.02.2006 DE
Title (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM GLEICHMÄSSIGEN BESCHICHTEN VON SUBSTRATEN
(EN) APPARATUS AND METHOD FOR THE UNIFORM COATING OF SUBSTRATES
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE POUR REVETIR DES SUPPORTS DE MANIERE UNIFORME
Abstract: front page image
(DE)Die Oberfläche eines Substrates (10) kann gleichmäßig mit einer Flüssigkeit bedeckt werden, wenn das Substrat in einer Halteeinrichtung (12a, 12b) fixiert ist, die mit der Oberfläche des Substrates ein Prozessvolumen bildet, in welches mittels einer Benetzungseinrichtung (14, 50) die Flüssigkeit auf die Oberfläche des Substrates eingebracht werden kann und wenn die Halteeinrichtung mit dem Substrat mittels einer Taumeleinrichtung (18a-18c) in eine taumelnde Bewegung versetzt wird, so dass sich die Flüssigkeit auf der Oberfläche des Substrates gleichmäßig verteilt.
(EN)The surface of a substrate (10) can be uniformly covered with a liquid if the substrate is fixed in a holding device (12a, 12b), which together with the surface of the substrate forms a process volume into which the liquid can be introduced onto the surface of the substrate by means of a wetting device (14, 50), and if the holding device with the substrate is set in a tumbling movement by means of a tumbling device (18a-18c), so that the liquid is uniformly distributed on the surface of the substrate.
(FR)Selon l'invention, la surface d'un support (10) peut être recouverte de manière uniforme par un liquide si le support est fixé dans un dispositif de maintien (12a, 12b) qui forme avec la surface du support un volume de traitement dans lequel le liquide peut être amené sur la surface du support au moyen d'un dispositif de mouillage (14, 50) et si le dispositif de maintien est déplacé avec le support en nutation au moyen d'un dispositif de nutation (18a-18c) de telle sorte que le liquide se répartisse uniformément sur la surface du support.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)